[實(shí)用新型]一種防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920030014.6
• 申請(qǐng)日: 2019-01-09
• 公開（公告）號(hào): CN209481790U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥安德科銘半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/448
• 分類號(hào): C23C16/448;C23C16/455
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209
• 代理人: 張偉

1.一種防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，包括形成容置腔的瓶體、進(jìn)氣管和出氣管，其特征在于，還包括將容置腔分成不同隔離區(qū)的隔板，所述進(jìn)氣管和出氣管分別位于不同的隔離區(qū)，不同隔離區(qū)之間通過連通管形成氣體連通的通路。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述隔板與所述瓶體的底部之間存在供液體連通的間隙。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述隔板與所述瓶體的頂蓋之間形成無法通過液體和氣體的連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述隔板包括至少一個(gè)主隔板和至少一個(gè)副隔板；由所述主隔板分成的不同的隔離區(qū)通過設(shè)置于瓶體頂蓋的連通管形成氣體連通的通路，所述副隔板與所述瓶體的底部之間存在供氣體連通的間隙。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述副隔板的底端距離最大安全容量的前驅(qū)體初始液面≥1cm。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述連通管為倒“U”形連通管。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述瓶體的底部設(shè)置有凹坑或凹槽，所述進(jìn)氣管的底端位于所述凹坑或凹槽內(nèi)，所述主隔板的底端與所述進(jìn)氣管的底端齊平或者低于所述進(jìn)氣管的底端。

8.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一項(xiàng)所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述隔板包括一個(gè)主隔板(1)和一個(gè)副隔板(2)，所述主隔板(1)將容置腔分為第一隔離區(qū)(101)和第二隔離區(qū)(102)，連接于所述主隔板(1)的所述副隔板(2)將所述第二隔離區(qū)(102)分為第三隔離區(qū)(103)和第四隔離區(qū)(104)；所述進(jìn)氣管與所述第一隔離區(qū)(101)連通，所述第一隔離區(qū)(101)與所述第三隔離區(qū)(103)通過設(shè)置于所述瓶體頂蓋的倒“U”形連通管連通，所述第四隔離區(qū)(104)與所述出氣管連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一項(xiàng)所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述隔板包括平行設(shè)置的第一主隔板(211)和第二主隔板(212)以及平行設(shè)置的第一副隔板(221)和第二副隔板(222)，所述第一主隔板(211)將容置腔分為第一隔離區(qū)(201)和第二隔離區(qū)(202)，所述第二主隔板(212)將第二隔離區(qū)(202)分為第五隔離區(qū)(205)和第六隔離區(qū)(206)，所述第一副隔板(221)將第五隔離區(qū)(205)分為第七隔離區(qū)(207)和第八隔離區(qū)(208)，第二副隔板(222)將第六隔離區(qū)(206)分為第九隔離區(qū)(209)和第十隔離區(qū)(210)；所述進(jìn)氣管與所述第一隔離區(qū)(201)連通，所述第一隔離區(qū)(201)與所述第七隔離區(qū)(207)、所述第八隔離區(qū)(208)與所述第九隔離區(qū)(209)均通過設(shè)置于所述瓶體頂蓋的倒“U”形連通管連通，所述第十隔離區(qū)(210)與所述出氣管連通。

10.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一項(xiàng)所述的防止前驅(qū)體液滴進(jìn)入管線或腔體的源瓶，其特征在于，所述隔板包括相交設(shè)置的第一主隔板(311)和第二主隔板(312)以及第一副隔板(321)和第二副隔板(322)，所述第一主隔板(321)將容置腔分為第一隔離區(qū)(301)和第二隔離區(qū)(302)，所述第二主隔板(321)將第二隔離區(qū)(302)分為第五隔離區(qū)(305)和第六隔離區(qū)(306)，與所述第一主隔板(311)和第二主隔板(312)相交處連接的所述第一副隔板(321)將第五隔離區(qū)(305)分為第七隔離區(qū)(307)和第八隔離區(qū)(308)，第二副隔板(322)將第六隔離區(qū)(306)分為第九隔離區(qū)(309)和第十隔離區(qū)(310)；所述進(jìn)氣管與所述第一隔離區(qū)(301)連通，所述第一隔離區(qū)(301)與所述第七隔離區(qū)(307)、所述第八隔離區(qū)(308)與所述第九隔離區(qū)(309)均通過設(shè)置于所述瓶體頂蓋的倒“U”形連通管連通，所述第十隔離區(qū)(310)與所述出氣管連通。