[實(shí)用新型]電池片輸送裝置及退火爐設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920026320.2 | 申請日: | 2019-01-07 |
| 公開(公告)號: | CN209515628U | 公開(公告)日: | 2019-10-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李文;龍占勇;沈曉琪;秦天;周凡;李濤 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫奧特維科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京路勝元知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11669 | 代理人: | 羅巍;黃玉霞 |
| 地址: | 214000*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電池片 鋼網(wǎng) 從動輥 驅(qū)動輥 支承輥 輸送裝置 退火爐 高溫環(huán)境 間隔設(shè)置 使用壽命 所在平面 帶運(yùn)動 輸送線 支撐鋼 網(wǎng)帶 申請 纏繞 驅(qū)動 封閉 運(yùn)轉(zhuǎn) 支撐 保證 | ||
1.一種電池片輸送裝置,其特征在于,所述電池片輸送裝置包括用于輸送電池片的鋼網(wǎng)帶、驅(qū)動輥、從動輥和支承輥,所述驅(qū)動輥和所述從動輥位于同一平面且間隔設(shè)置,所述支承輥位于所述驅(qū)動輥和所述從動輥所在平面的下方,所述鋼網(wǎng)帶依次纏繞于所述驅(qū)動輥和所述從動輥上以形成封閉的輸送線,所述支承輥和所述從動輥用于支撐所述鋼網(wǎng)帶,所述驅(qū)動輥用于驅(qū)動所述鋼網(wǎng)帶運(yùn)動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述電池片輸送裝置還包括至少一組副從動輥,每組所述副從動輥中的兩個副從動輥對稱設(shè)置在所述驅(qū)動輥和所述從動輥的側(cè)邊,所述鋼網(wǎng)帶纏繞過所述副從動輥進(jìn)行輸送。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電池片輸送裝置,其特征在于,每組所述副從動輥中的兩個副從動輥之間的間距小于所述驅(qū)動輥與所述從動輥之間的間距。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述電池片輸送裝置還包括張緊輥,所述張緊輥設(shè)置在所述和/或所述從動輥的側(cè)邊,對所述鋼網(wǎng)帶進(jìn)行張緊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述張緊輥為兩個,兩個所述張緊輥對稱設(shè)置,所述鋼網(wǎng)帶的支撐面貼附于所述張緊輥上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述電池片輸送裝置還包括與所述張緊輥對應(yīng)的彈性施加部,所述彈性施加部設(shè)置在所對應(yīng)的張緊輥側(cè)邊,所述彈性施加部作用于所對應(yīng)的張緊輥上,通過改變所述張緊輥的位置以改變所述鋼網(wǎng)帶的張緊。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述電池片輸送裝置還包括導(dǎo)向板,所述鋼網(wǎng)帶貼附于所述導(dǎo)向板上,所述導(dǎo)向板對所述鋼網(wǎng)帶進(jìn)行導(dǎo)向。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述導(dǎo)向板包括至少兩個,至少兩個所述導(dǎo)向板與所述支承輥位于同一平面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電池片輸送裝置,其特征在于,所述電池片輸送裝置還包括至少一根支撐桿,所述支撐桿設(shè)置在所述驅(qū)動輥和所述從動輥之間,所述支撐桿的上表面面積小于或等于所述驅(qū)動輥和所述從動輥之間形成的平面面積,所述支撐桿用于支撐所述鋼網(wǎng)帶。
10.一種退火爐設(shè)備,其特征在于,所述退火爐設(shè)備包括如權(quán)利要求1-9中任一所述的電池片輸送裝置、加熱裝置、保溫裝置和冷卻裝置,所述輸送裝置穿過所述加熱裝置、保溫裝置和冷卻裝置,所述加熱裝置對所述電池片輸送裝置上的電池片進(jìn)行加熱處理,所述保溫裝置對所述電池片輸送裝置上的電池片進(jìn)行保溫處理,所述冷卻裝置對所述電池片輸送裝置上的電池片進(jìn)行冷卻處理。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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