[發明專利]一種管狀陶瓷靶材生坯加工夾具

在審

• 申請號: 201911425903.3
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111037769A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 雷雨;趙明增;周昭宇;周志宏;肖世洪
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

本發明公開了一種管狀陶瓷靶材生坯加工夾具。該夾具包括支撐體、拉桿、軸套、端蓋、鎖緊螺母、夾頭和支撐筋，所述支撐體的前端設有端蓋，端蓋上設有中心孔，所述拉桿通過該中心孔插入支撐體內，拉桿位于支撐體外的一端旋套有鎖緊螺母，拉桿位于支撐體內的一端與所述軸套螺紋連接；所述夾頭的數量為至少3組，該至少3組夾頭均具有圓弧形夾緊面，且沿支撐體的外圓周方向均勻排列；所述支撐體上設有矩形開口，每個矩形開口處均嵌設具有斜面的支撐筋，所述斜面與所述軸套的外圓周面接觸，支撐筋與夾頭固定連接。本發明可以一次裝夾靶材生坯完成加工，且夾持力均勻，能夠解決陶瓷靶材生坯在加工過程中容易出現開裂的問題。

技術領域

本發明涉及陶瓷靶材加工設備技術領域，具體涉及一種管狀陶瓷靶材生坯加工夾具。

背景技術

陶瓷靶材是一類非常重要的真空鍍膜材料，包括ZnO、AZO、GZO、IZO、IGZO、ITO、TiO₂、Nb₂O₅等。陶瓷靶材是一種或多種氧化物粉末經過混合、造粒、成型、燒結而成的陶瓷材料。陶瓷材料在成型后由于強度不高，所以很難加工，尤其是在加工過程中因夾具夾持力大，夾持力不均勻導致靶材生坯加工時非常容易開裂，良率降低。若成型后的靶材生坯不加工到規則尺寸，生坯壁厚不夠均勻，則會影響燒結的均勻性，并且燒結后靶材變成陶瓷材料，后期加工十分困難，有較大的磨削量，效率低下，造成成本浪費。因此，急需一種適用于管狀陶瓷靶材加工的夾具，使管狀陶瓷靶材生坯在加工過程中不易出現開裂，且能夠一次裝夾完成加工，夾持力均勻，加工后尺寸標準。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術的不足之處而提供一種管狀陶瓷靶材生坯加工夾具，該夾具可以一次裝夾完成加工，并且夾持力均勻，加工后尺寸標準，能夠解決陶瓷靶材生坯在加工過程中容易出現開裂的問題，使其燒結過程更加均勻，且燒結后靶坯加工余量小，大幅度降低生產工時，提高生產效率，提高產品良率，降低成本。

為實現上述目的，本發明采取的技術方案如下：

一種管狀陶瓷靶材生坯加工夾具，包括支撐體、拉桿、軸套、端蓋、鎖緊螺母、夾頭和支撐筋，所述支撐體的前端設有端蓋，端蓋上設有中心孔，所述拉桿通過該中心孔插入支撐體內，拉桿位于支撐體外的前端旋套有鎖緊螺母，拉桿位于支撐體內的末端與所述軸套螺紋連接；所述夾頭的數量為至少3組，優選為3組，該至少3組夾頭均具有圓弧形夾緊面，且沿支撐體的外圓周方向均勻排列；所述支撐體上設有矩形開口，每個矩形開口處均嵌設具有斜面的支撐筋，所述斜面與所述軸套的外圓周面接觸，支撐筋與夾頭固定連接。

將靶材生坯套在夾頭外，通過轉動拉桿，帶動軸套在支撐體內沿水平方向移動，軸套的外圓周面與支撐筋上的斜面接觸，軸套的移動會推動支撐筋沿支撐體的徑向向外運動，進而帶動具有圓弧形夾緊面的夾頭與靶材生坯的內壁接觸并漲緊，通過旋緊鎖緊螺母，保持夾頭與靶材生坯漲緊的狀態。

靶材生坯完成后，松動鎖緊螺母，轉動拉桿在拉桿上沿水平方向移動，使得軸套的移動推動支撐筋沿支撐體的徑向向內運動，從而使夾頭與靶材生坯處于松開的狀態，便于將加工后的靶材生坯從夾具上取下。

本發明的夾具通過圓周方向至少三個圓弧形夾緊面同時夾緊，夾頭與靶材生坯的接觸面積大，對于靶材單位面積受力小，并且夾持力均勻，避免靶材生坯夾持開裂，確保靶材生坯加工后尺寸標準。

優選地，所述夾具還包括導向機構，所述導向機構包括導向軸、墊塊和導向軸套組成，所述支撐體上設有通孔，所述導向軸安裝在所述夾頭上，并穿過通孔進入支撐體內，所述導向軸位于支撐體和夾頭之間的部分還套設有墊塊，以及與所述導向軸配套的導向軸套，提高夾具的夾頭在徑向滑動的精度。

優選地，所述導向軸位于支撐體內的部分還套設有彈簧，保證夾具在松開的時候可以主動復位。

優選地，所述支撐體上的通孔的表面粗糙度Ra小于1.6μm，減少支撐體與導向軸之間的摩擦，提高夾具的夾頭在徑向滑動的精度。