[發(fā)明專利]MEMS揚聲器及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911423328.3
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111182428B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發(fā)明（設計）人: 程詩陽;李楊;但強;朱國
• 申請（專利權(quán)）人: 瑞聲科技（南京）有限公司
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00;H04R19/02;H04R31/00
• 代理公司: 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 谷孝東

本發(fā)明公開了MEMS揚聲器及其制造方法，其中，MEMS揚聲器包括基底、振動組件、隔膜以及連接桿，基底包括基座和自基座一側(cè)延伸的支撐座，基座沿其厚度方向貫穿設有第一腔體，支撐座呈環(huán)形并圍合形成與第一腔體連通的第二腔體，第一腔體沿垂直于厚度方向的內(nèi)徑小于第二腔體；振動組件固定于基底且至少覆蓋部分第一腔體，連接桿的一端與振動組件連接、另一端經(jīng)第一腔體延伸至第二腔體并與隔膜連接，隔膜懸設于第二腔體中并與支撐座的內(nèi)壁間隔設置。本發(fā)明的MEMS揚聲器，通過振動構(gòu)件帶動隔膜做活塞運動而產(chǎn)生聲音，使其在單位時間內(nèi)可以排開更多體積的空氣，從而提高了MEMS揚聲器的聲音輸出。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及聲電轉(zhuǎn)換技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS揚聲器及該MEMS揚聲器的制造方法。

【背景技術(shù)】

揚聲器是一種將電學信號轉(zhuǎn)換為聲音信號的換能器件，被廣泛應用在各種音響和移動終端設備中，揚聲器性能的優(yōu)劣將直接影響到音響或移動終端設備的音質(zhì)。

現(xiàn)有技術(shù)中，揚聲器中的振膜通常都是通過振膜振動產(chǎn)生聲音的，但由于振膜的邊緣通常都需要固定至其它部件，因此振膜的中心部位振動幅度大，而周邊部分振動幅度小，從而導致?lián)P聲器的聲音輸出較低。

因此，有必要提供一種改進的揚聲器來解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

本發(fā)明的目的在于之一提供一種MEMS揚聲器，其具有聲音輸出高的優(yōu)點。

本發(fā)明的目的之一采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種MEMS揚聲器，包括基底、振動組件、隔膜以及連接桿，所述基底包括基座和自所述基座一側(cè)延伸的支撐座，所述基座沿其厚度方向貫穿設有第一腔體，所述支撐座呈環(huán)形并圍合形成與所述第一腔體連通的第二腔體，所述第一腔體沿垂直于所述厚度方向的內(nèi)徑小于所述第二腔體；所述振動組件固定于所述基底且至少覆蓋部分所述第一腔體，所述連接桿的一端與所述振動組件連接、另一端經(jīng)所述第一腔體延伸至所述第二腔體并與所述隔膜連接，所述隔膜懸設于所述第二腔體中并與所述支撐座的內(nèi)壁間隔設置。

作為一種改進，所述基座間隔開設有至少兩個所述第一腔體，各所述第一腔體均與所述第二腔體連通，所述第一腔體與所述振動組件及所述連接桿一一對應，且所述振動組件均通過對應的所述連接桿與同一所述隔膜連接。

作為一種改進，所述振動組件包括設于所述基座遠離所述支撐座一側(cè)的振動構(gòu)件和設于所述振動構(gòu)件的驅(qū)動器，所述振動構(gòu)件至少覆蓋部分所述第一腔體。

作為一種改進，每一所述振動組件都包括兩個所述驅(qū)動器，兩個所述驅(qū)動器固定于所述振動構(gòu)件遠離所述支撐座的一側(cè)且對稱設置于所述連接桿的相對兩側(cè)。

作為一種改進，所述驅(qū)動器包括與所述振動構(gòu)件連接的第一電極層、設于所述第一電極層遠離所述振動構(gòu)件一側(cè)的壓電層、以及設于所述壓電層遠離所述第一電極層一側(cè)的第二電極層。

作為一種改進，所述振動構(gòu)件包括振膜和連接梁，所述振膜的一側(cè)與所述基座連接、另一側(cè)朝向所述連接桿延伸并與所述連接桿間隔設置，所述連接梁連接在所述振膜與所述連接桿之間。

作為一種改進，所述振膜設有至少兩個且對稱設置于所述連接桿的外周，且每個所述振膜遠離所述基座的一側(cè)都設有一個所述驅(qū)動器。

作為一種改進，所述連接梁為L形或者蛇形。

作為一種改進，所述振膜懸置于所述第一腔體且僅遠離所述連接桿的一側(cè)與所述基座固定。

作為一種改進，所述MEMS揚聲器為方形或圓形，所述連接桿等間距分布。

本發(fā)明的目的之二還提供一種MEMS揚聲器制造方法，包括：