[發(fā)明專利]顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償方法及裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911419373.1
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN113064264A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙磊;莫成鋼;喬彥峰;張鑫;苗亮;宋珊珊;宮晨;任博學(xué);王凌欣;黃龍;郝志旭
• 申請（專利權(quán)）人: 長春長光華大智造測序設(shè)備有限公司
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02;G02B7/02;G02B21/08
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44281
• 代理人: 廖金暉;彭愿潔

1.一種顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置,其特征在于，包括：

固定架；

物鏡，所述物鏡包括鏡筒、透鏡和鏡框，所述鏡筒的上端安裝在所述固定架的下端，所述透鏡具有多個(gè)，每個(gè)所述透鏡通過一個(gè)所述鏡框安裝在所述鏡筒內(nèi)；多個(gè)所述透鏡中具有一個(gè)或多個(gè)偏心透鏡和一個(gè)或多個(gè)軸向透鏡，與所述偏心透鏡連接的鏡框?yàn)槠溺R框，所述偏心鏡框與所述鏡筒之間具有徑向移動的間隙，所述鏡筒上設(shè)有一組或多組徑向的通孔，每組所述通孔包括位于一個(gè)圓周上的至少三個(gè)通孔，每個(gè)所述偏心鏡框?qū)?yīng)一組所述通孔；與所述軸向透鏡連接的鏡框?yàn)檩S向鏡框，所述軸向鏡框與所述鏡筒螺紋連接，并且所述軸向鏡框的部分位于所述鏡筒的外側(cè)；

以及至少三個(gè)偏心促動器，所述至少三個(gè)偏心促動器安裝在所述固定架的下端，并均勻圍繞在所述物鏡的四周，所述偏心促動器具有可伸縮和/或可升降的驅(qū)動端，所述驅(qū)動端用于穿過所述鏡筒上的通孔驅(qū)動所述偏心透鏡和偏心鏡框徑向移動。

2.如權(quán)利要求1所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述鏡筒內(nèi)位于最下端的透鏡為所述軸向透鏡，所述鏡筒的下端設(shè)有外螺紋，所述軸向鏡框設(shè)有內(nèi)螺紋，所述軸向鏡框螺紋連接在所述鏡筒的下端。

3.如權(quán)利要求2所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述鏡筒的下端端部還設(shè)有導(dǎo)向面，所述軸向鏡框內(nèi)設(shè)有對應(yīng)的導(dǎo)向面，所述鏡筒的導(dǎo)向面與所述軸向鏡框的導(dǎo)向面為可滑動的導(dǎo)向連接。

4.如權(quán)利要求2所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述鏡筒的下端內(nèi)表面設(shè)有徑向凸起，所述鏡框上下層疊安裝在所述鏡筒內(nèi)，所述鏡筒的上端安裝有壓圈，所述壓圈將所述鏡框軸向壓緊在所述鏡筒內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述透鏡中還具有固定透鏡，與所述固定透鏡連接的鏡框?yàn)楣潭ㄧR框，所述固定鏡框與所述偏心鏡框上下層疊在所述鏡筒內(nèi)，所述固定鏡框的外表面與所述鏡筒的內(nèi)表面接觸連接。

6.如權(quán)利要求1所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述鏡筒的上端固定有連接環(huán)，所述連接環(huán)上設(shè)有位于一個(gè)圓周上的若干個(gè)弧形槽孔，每個(gè)弧形槽孔內(nèi)安裝有固定螺釘，所述連接環(huán)通過螺釘連接安裝在所述固定架上。

7.如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述偏心促動器包括安裝架和偏心電機(jī)，所述偏心電機(jī)通過所述安裝架安裝在所述固定架的下端，所述偏心電機(jī)的驅(qū)動端為所述偏心促動器的驅(qū)動端。

8.如權(quán)利要求7所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償裝置，其特征在于，所述偏心促動器還包括升降電機(jī)，所述偏心電機(jī)可升降滑動的安裝在所述安裝架上，所述升降電機(jī)安裝在所述安裝架上，所述升降電機(jī)的驅(qū)動端與所述偏心電機(jī)連接，所述升降電機(jī)用于驅(qū)動所述偏心電機(jī)升降移動。

9.一種顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)補(bǔ)償方法,其特征在于，包括如下步驟：

在物鏡的上端基準(zhǔn)面上放置平面反射鏡，所述平面反射鏡與光軸垂直；

干涉儀發(fā)射檢測光，檢測光經(jīng)轉(zhuǎn)折鏡反射到平面反射鏡上，平面反射鏡的反射光經(jīng)轉(zhuǎn)折鏡反射回干涉儀；

擺動物鏡，當(dāng)干涉儀的出射光自準(zhǔn)直時(shí)，固定住物鏡；

在物鏡的下方放置球面反射鏡，球面反射鏡安裝在一個(gè)調(diào)整臺上；

干涉儀發(fā)射檢測光，檢測光經(jīng)轉(zhuǎn)折鏡反射及物鏡透射到球面反射鏡上，球面反射鏡反射的反射光經(jīng)物鏡透射及轉(zhuǎn)折鏡反射到干涉儀上；

通過調(diào)整臺驅(qū)動球面反射鏡移動和擺動，當(dāng)干涉儀的出射光自準(zhǔn)直時(shí)，固定住球面反射鏡；

干涉儀發(fā)射檢測光，檢測光經(jīng)轉(zhuǎn)折鏡反射及物鏡透射到球面反射鏡上，球面反射鏡反射的反射光經(jīng)物鏡透射及轉(zhuǎn)折鏡反射到干涉儀上，干涉儀根據(jù)發(fā)射光和反射光形成相應(yīng)的發(fā)射信號和反射信號；

處理器根據(jù)發(fā)射信號和反射信號計(jì)算出物鏡的偏心補(bǔ)償量和軸向補(bǔ)償量；

控制偏心促動器驅(qū)動偏心透鏡移動偏心補(bǔ)償量，及調(diào)節(jié)軸向透鏡移動軸向補(bǔ)償量，完成像質(zhì)補(bǔ)償。

10.如權(quán)利要求9所述的顯微光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)方法，其特征在于，所述球面反射鏡的F數(shù)要小于等于所述物鏡的F數(shù)。