[發明專利]一種定位裝置

在審

• 申請號: 201911419022.0
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111015502A
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 楊兆明;顏凱;中原司
• 申請（專利權）人: 浙江芯暉裝備技術有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種定位裝置，其特征在于，包括：

放置臺(11)，其用于承載硅片，所述放置臺(11)上設置有至少三個滑動槽(111)，所有的所述滑動槽(111)所在的直線交于一點；

定位組件(12)，其與所述滑動槽(111)一一對應設置，且能夠沿所述滑動槽(111)的長度方向移動，所述定位組件(12)包括定位件(121)，所述定位件(121)露于所述滑動槽(111)設置；

驅動件(13)，其能夠驅使所述定位件(121)相互靠攏，以夾持定位所述硅片；還能夠驅使所述定位件(121)相互遠離，以解除對所述硅片的夾持。

2.根據權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述放置臺(11)上設置有六個滑動槽(111)，所述定位組件(12)的數量為六個。

3.根據權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，還包括旋轉盤(14)和撥叉(15)，所述旋轉盤(14)位于所述放置臺(11)的下方，所述撥叉(15)與所述定位組件(12)一一對應設置，所述撥叉(15)的第一端轉動連接于所述旋轉盤(14)的非軸心處，所述撥叉(15)的第二端連接于所述定位組件(12)，所述旋轉盤(14)轉動能夠驅使所述定位組件(12)相互靠攏或遠離。

4.根據權利要求3所述的定位裝置，其特征在于，所述定位組件(12)還包括第一連接軸(122)，所述第一連接軸(122)的一端連接于所述撥叉(15)的第一端，另一端與所述定位件(121)轉動連接。

5.根據權利要求4所述的定位裝置，其特征在于，所述定位組件(12)還包括第一軸承(123)，所述第一軸承(123)套設于所述第一連接軸(122)上，所述第一軸承(123)的外圈與所述滑動槽(111)的內壁相接觸。

6.根據權利要求3所述的定位裝置，其特征在于，還包括旋轉軸(16)，所述旋轉盤(14)固定連接于所述旋轉軸(16)的頂端，所述旋轉軸(16)與所述驅動件(13)傳動連接。

7.根據權利要求6所述的定位裝置，其特征在于，所述驅動件(13)的輸出端設置有第一傳動輪(131)，所述旋轉軸(16)上設置有第二傳動輪(161)，所述第一傳動輪(131)和所述第二傳動輪(161)通過傳動皮帶(17)傳動連接。

8.根據權利要求6所述的定位裝置，其特征在于，還包括吸盤(18)，所述吸盤(18)設置于所述放置臺(11)上，所述吸盤(18)用于吸附所述硅片。

9.根據權利要求8所述的定位裝置，其特征在于，還包括機架(20)和中空軸(19)，所述放置臺(11)設置于所述機架(20)上，所述中空軸(19)豎直地設置于所述機架(20)上，且頂端固定連接于所述放置臺(11)，所述中空軸(19)上設置有與所述吸盤(18)連通的通氣孔(191)，所述旋轉軸(16)轉動地套設于所述中空軸(19)上。

10.根據權利要求1所述的定位裝置，其特征在于，所述驅動件(13)為伺服電機、步進電機或減速電機。