[發(fā)明專利]醫(yī)用含銅復(fù)合涂層及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911418497.8
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111041433B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉恒全;劉忍;潘長(zhǎng)江;李林;劉堯?yàn)?/a>
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都邁德克科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;C23C14/06
• 代理公司: 成都希盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51226
• 代理人: 廖文麗;柯海軍

1.醫(yī)用含銅復(fù)合涂層，其特征在于，所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層中包含銅、鈦、氮三種元素形成的中間相或化合物，所述涂層的含銅量為大于10wt％且不超過(guò)60wt％；

所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的X射線衍射圖中表現(xiàn)出個(gè)4個(gè)特征衍射峰：Cu₂Ti(131)、CuN₃(202)、TiN(111)、TiN(200)；

所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的組織均勻，所述涂層的厚度為30～300nm；

所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層采用如下方法制備得到：

A.在0.8～2.0Pa的氬氣氣氛下起輝，再將氣壓穩(wěn)定在1～1.5Pa，只通氬氣濺射沉積到基底上，所述濺射沉積的功率為40～100W，所述濺射沉積的基體偏壓40-100V；

B.再通入氮?dú)猓{(diào)節(jié)氮?dú)夂蜌鍤饬髁渴沟獨(dú)灞?:8～1:1，開(kāi)啟高純銅靶、高純鈦靶后繼續(xù)濺射沉積10～40min到基底上，且Cu的濺射功率小于Ti的濺射功率，得到醫(yī)用含銅復(fù)合涂層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層，其特征在于，所述只通氬氣濺射沉積的時(shí)間為10min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層，其特征在于，所述氮?dú)灞葹?:8。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層，其特征在于，所述基底為醫(yī)用不銹鋼、高純鈦、鈦合金、鎳鈦合金、純鐵、鎂合金。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層，其特征在于，所述A步驟先將基底在真空度6.0×10^-4～1.0×10^-3Pa下加熱到100℃～300℃，再通氬氣濺射沉積。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層，其特征在于，所述0.8～2.0Pa的氬氣氣氛的制備方法如下：

先將濺射腔室抽真空至6.0×10^-4～1.0×10^-3Pa，再通入氬氣，調(diào)節(jié)濺射腔室氣壓反濺10～20min，然后調(diào)節(jié)氬氣流量使濺射腔室內(nèi)的氣壓在0.8～2.0Pa，所述氬氣的純度為99.99％以上。

7.如權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法包括：

A.在0.8～2.0Pa的氬氣氣氛下起輝，再將氣壓穩(wěn)定在1～1.5Pa，只通氬氣濺射沉積到基底上，所述濺射沉積的功率為40～100W，所述濺射沉積的基體偏壓40-100V；

B.再通入氮?dú)猓{(diào)節(jié)氮?dú)夂蜌鍤饬髁渴沟獨(dú)灞?:8～1:1，開(kāi)啟高純銅靶、高純鈦靶后繼續(xù)濺射沉積10～40min到基底上，且Cu的濺射功率小于Ti的濺射功率，得到醫(yī)用含銅復(fù)合涂層。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，所述只通氬氣濺射沉積的時(shí)間為10min。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，所述基底為醫(yī)用不銹鋼、高純鈦、鈦合金、鎳鈦合金、純鐵、鎂合金。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，A步驟先將基底在真空度6.0×10^-4～1.0×10^-3Pa下加熱到100℃～300℃，再通氬氣濺射沉積。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，所述0.8～2.0Pa的氬氣氣氛的制備方法如下：

先將濺射腔室抽真空至6.0×10^-4～1.0×10^-3Pa，再通入氬氣，調(diào)節(jié)濺射腔室氣壓反濺10～20min，然后調(diào)節(jié)氬氣流量使濺射腔室內(nèi)的氣壓在0.8～2.0Pa。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，所述氮?dú)灞葹?:8。

13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的醫(yī)用含銅復(fù)合涂層的制備方法，其特征在于，所述氬氣的純度為99.99％以上。