[發明專利]一種用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法

有效

• 申請號: 201911416563.8
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111150368B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 王學文;樊宇波;高久偉;趙武;黃維
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: A61B5/00
• 分類號: A61B5/00;A61B5/11
• 代理公司: 無錫市天宇知識產權代理事務所(普通合伙) 32208
• 代理人: 蔣何棟

1.一種用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）旋涂光刻膠：將光刻膠滴在耐高溫基板上，旋涂形成1~10um厚度的光刻膠薄膜，隨后在熱板上以90~120℃的溫度烘烤2~10分鐘以使光刻膠固化得到涂膠板；

（2）曝光：在光刻機上放置刻有基底圖案的掩膜板，將涂膠板放置在掩膜板下方進行光刻曝光得到圖案化改性涂膠板；

（3）顯影：使用光刻膠顯影劑對圖案化改性涂膠板進行顯影得到顯影板，顯影板上設有和掩膜板上的基底圖案一樣的圖案或相反圖案；

（4）蒸鍍Ni膜：使用電子束蒸發設備將靶材設為Ni，對顯影板進行蒸鍍，蒸鍍后退火處理后形成Ni膜厚度為5~10nm的Ni膜板；

（5）除膠與清洗：將Ni膜板放置于丙酮溶液中清洗，洗去Ni膜板上面的光刻膠和位于光刻膠表面的Ni膜，得到圖案化的Ni膜板；

（6）生長碳納米棒CA自交聯陣列：將圖案化的Ni膜板放置于管式爐中，升溫至850~950℃，使圖案化的Ni膜板表面的Ni膜生成為液態Ni納米顆粒，接著引入H₂，然后升溫至1000~1200℃，保持溫度10~20分鐘后將H₂調整成CH₄通入使管式爐內部壓力逐漸增加至120~180mbar并保持1000~1200℃的溫度20~30分鐘，然后關閉管式爐并將CH₄調整為 H₂通入管式爐內，開始自然降溫，當溫度降至100~300°C時將H₂調整成惰性氣體通入，至管式爐內部降至室溫得到CA自交聯陣列板；

（7）剝離：將可溶性基底材料滴在CA自交聯陣列板表面后旋涂形成薄膜狀可溶性基底材料涂層；然后烘烤使薄膜狀可溶性基底材料涂層固化得到固化板；隨后將固化板置入5~40%的HF溶液中，刻蝕使固化板上的耐高溫基板剝離得到可溶性基底材料/CA陣列層；

（8）清洗及轉移至柔性基板：清洗可溶性基底材料/CA陣列層；隨后使用丙酮清洗去除可溶性基底材料/CA陣列層上的薄膜狀可溶性基底材料涂層得到CA陣列層，將CA陣列層轉移并附著到柔性基板上；

（9）傳感器制作：使用導電銀漿將電極連接到柔性基板的CA陣列層上后以70~150℃的溫度將導電銀漿固化得到成品。

2.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，所述的耐高溫基板包括硅基底、Si/SiO₂襯底、石英基底、云母基底或玻璃基底。

3.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，所述光刻膠為正性光刻膠或負性光刻膠。

4.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，步驟（3）中圖案化改性涂膠板在23.0±0.1℃的溫度下浸漬在顯影液中60s。

5.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，蒸鍍Ni膜時退火溫度為150~300℃，退火時間為30~60分鐘。

6.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，其中柔性基板的材料為聚對苯二甲酸乙二醇酯 、聚酰亞胺、聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚氯乙烯。

7.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，所述電極的材料化學組分為碳、金、銀、銅、鋁、銦、錫中的一種或幾種。

8.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，所述惰性氣體為Ar。

9.根據權利要求1所述的用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，所述可溶性基底材料為PMMA、PDMS或石蠟。