[發(fā)明專利]光學(xué)系統(tǒng)清晰度測(cè)試方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911412789.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111122126B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉軍;鄭昱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京靈犀微光科技有限公司
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種光學(xué)系統(tǒng)清晰度測(cè)試裝置，包括光功率控制器，分光結(jié)構(gòu)，能量探測(cè)器，控制器，采集系統(tǒng)和處理器，其中，

所述光功率控制器，用于將所述光學(xué)系統(tǒng)輸入的光束向所述分光結(jié)構(gòu)輸出，并控制向所述分光結(jié)構(gòu)輸出的光束的光強(qiáng)；

所述分光結(jié)構(gòu)，用于將輸入的光束分光為第一光束和第二光束，所述第一光束輸出至所述能量探測(cè)器，所述第二光束輸出至所述采集系統(tǒng)，所述第一光束的光強(qiáng)和所述第二光束的光強(qiáng)之間具有預(yù)設(shè)比值；

所述能量探測(cè)器，用于探測(cè)所述第一光束的光強(qiáng)；

所述控制器，用于根據(jù)所述能量探測(cè)器探測(cè)的所述第一光束的光強(qiáng)，控制所述光功率控制器輸出的光束的光強(qiáng)；

所述采集系統(tǒng)，用于將所述第二光束轉(zhuǎn)換為電子圖像；

所述處理器，用于根據(jù)清晰度評(píng)價(jià)函數(shù)、所述電子圖像和所述能量探測(cè)器探測(cè)的所述第一光束的光強(qiáng)，確定所述光學(xué)系統(tǒng)的清晰度。

2.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述光功率控制器包括交叉放置的偏振片或衰減片。

3.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，

所述控制器，還用于根據(jù)所述能量探測(cè)器探測(cè)的所述第一光束的光強(qiáng)，控制所述光功率控制器輸出的光束的光強(qiáng)在預(yù)設(shè)光強(qiáng)范圍內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的測(cè)試裝置，其特征在于，所述采集系統(tǒng)包括鏡頭和相機(jī)，其中，

所述鏡頭用于將所述第二光束成像至所述相機(jī)；

所述相機(jī)用于將所述第二光束所成的像轉(zhuǎn)換為電子圖像。

5.一種光學(xué)系統(tǒng)清晰度測(cè)試方法，包括：

接收所述光學(xué)系統(tǒng)輸出的光束；

將所述光學(xué)系統(tǒng)輸出的光束分光為第一光束和第二光束，所述第一光束的光強(qiáng)和所述第二光束的光強(qiáng)之間具有預(yù)設(shè)比值；

獲取所述第一光束的光強(qiáng)；

根據(jù)所述第一光束的光強(qiáng)，控制所述光學(xué)系統(tǒng)輸出的光束的光強(qiáng)；

將所述第二光束轉(zhuǎn)換為電子圖像；

根據(jù)清晰度評(píng)價(jià)函數(shù)、所述電子圖像和所述第一光束的光強(qiáng)，確定所述光學(xué)系統(tǒng)的清晰度。

6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)試方法，其特征在于，根據(jù)所述第一光束的光強(qiáng)，控制所述光功率控制器輸出的光束的光強(qiáng)，包括：

根據(jù)所述第一光束的光強(qiáng)，控制所述光功率控制器輸出的光束的光強(qiáng)在預(yù)設(shè)光強(qiáng)范圍內(nèi)。