[發明專利]電化學拋光液回收裝置與方法

在審

• 申請號: 201911410727.6
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN113122905A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 吳雷;李凱強;金一諾;吳均;王堅;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備（上海）股份有限公司
• 主分類號: C25F7/02
• 分類號: C25F7/02;C25F3/22
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種電化學拋光液回收裝置，其特征在于，包括：

電解槽，其上方設有電解槽開口，用于容納拋光液進行電解；

極板組件，其包括電極板；所述電極板包括陰極板和陽極板，所述陰極板和所述陽極板分別連接于直流電源；所述電極板在電解過程中從所述電解槽開口浸入所述電解槽中的所述拋光液中；所述陰極板或所述陽極板用于沉積在電解過程中析出的固態物質；

刮刀組件，其包括用于從所述陰極板或所述陽極板上刮除所述固態物質的刮刀；

驅動組件，其用于驅動所述刮刀與所述陰極板或所述陽極板發生相對移動，以使所述刮刀從所述陰極板或所述陽極板上刮除所述固態物質；

過濾組件，其包括網兜；所述網兜對所述電極板在所述電解槽中的浸入區域進行包圍隔離，用于從所述電解槽中過濾出所述刮刀所刮除的所述固態物質。

2.根據權利要求1所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，所述陰極板和所述陽極板為多個，多個所述陰極板和所述陽極板交替排列設置。

3.根據權利要求1所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，所述極板組件還包括頂部固定結構和底部固定結構；所述陰極板和所述陽極板垂直固定于上下設置的所述頂部固定結構和所述底部固定結構之間；所述驅動組件連接所述頂部固定結構，并通過所述頂部固定結構帶動所述陰極板和所述陽極板在垂直方向相對于所述電解槽開口上下移動；所述刮刀組件還包括用于安裝所述刮刀的刮刀座，所述刮刀座使所述刮刀相對于所述電解槽固定，且所述刮刀的刀鋒側緊貼于所述陰極板或所述陽極板的表面。

4.根據權利要求3所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，所述頂部固定結構上設有用于連接所述陰極板與所述直流電源的陰極接線柱和用于連接所述陽極板與所述直流電源的陽極接線柱。

5.根據權利要求3所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，所述過濾組件還包括網兜固定件、內壓塊和外壓塊；所述網兜為柔性材料，呈口袋狀圍設于所述陰極板和所述陽極板的側面和下方；所述網兜固定件將所述網兜的開口部分固定于所述電解槽開口處；所述內壓塊和所述外壓塊固定于所述網兜的底部，所述內壓塊位于所述網兜底部的上方，所述外壓塊位于所述網兜底部的下方，所述內壓塊和所述外壓塊通過連接件穿過所述網兜相互固定連接。

6.根據權利要求5所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，所述底部固定結構上設有可拆卸的懸掛桿，所述內壓塊通過吊繩連接所述懸掛桿；所述網兜的底部、所述內壓塊和所述外壓塊通過所述吊繩隨所述陰極板和所述陽極板一同在垂直方向上下移動。

7.根據權利要求6所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，在所述陰極板和所述陽極板處于向上方移動的極限位置時，所述底部固定結構高于所述網兜的開口部分，所述網兜的底部不高于所述網兜的開口部分；在所述陰極板和所述陽極板處于向下方移動的極限位置時，所述底部固定結構低于所述網兜的開口部分，所述網兜的底部低于所述網兜的開口部分。

8.根據權利要求1所述的電化學拋光液回收裝置，其特征在于，所述電化學拋光液回收裝置還包括儲液槽，其連通所述電解槽，用于存儲在所述電解槽中完成電解回收的所述拋光液。

9.一種電化學拋光液回收方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供如權利要求1至8中任意一項所述的電化學拋光液回收裝置；

在所述電解槽中通入待電解回收的拋光液，并通過所述驅動組件使所述陰極板和所述陽極板處于向下方移動的極限位置；

通過所述直流電源向所述陰極板和所述陽極板通電以對所述拋光液進行電解，在所述陰極板或所述陽極板上沉積有在電解過程中析出的固態物質；

在電解過程完成后，通過所述驅動組件使所述陰極板和所述陽極板向上方移動，所述刮刀從所述陰極板或所述陽極板刮除所述固態物質，所述固態物質被所述網兜濾出。

10.根據權利要求9所述的電化學拋光液回收方法，其特征在于，在所述陰極板和所述陽極板向上方移動至極限位置后，還包括對所述過濾組件進行拆卸，并對所述固態物質進行回收的步驟。