[發(fā)明專利]基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911410058.2 | 申請日： | 2019-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN111134831A | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉景全;洪雯 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | A61B18/02 | 分類號： | A61B18/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐紅銀;趙楠 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 蜿蜒 柔性 mems 延展 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器，其特征在于，包括可延展基底層、底部絕緣層、金屬層和頂部絕緣層；其中，
所述可延展基底層位于結(jié)構(gòu)最底層；
所述底部絕緣層設(shè)置于所述可延展基底層上；
所述金屬層設(shè)置于所述底部絕緣層的上方；
所述頂部絕緣層設(shè)置于所述金屬層的上方；
所述底部絕緣層、所述金屬層和所述頂部絕緣層的形狀呈蜿蜒狀延伸，用以增強其延展性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器，其特征在于，所述蜿蜒狀為二階蛇形線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器，其特征在于，所述頂部絕緣層可根據(jù)需求進行圖形化，將位于其下方的所述金屬層局部裸露，使所述金屬層局部裸露位置直接接觸外界環(huán)境。
4.一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器的制備方法，其特征在于，包括：
在襯底上制作犧牲層；在所述犧牲層上方旋涂一層可延展性基底材料，得到可延展性基底層；
在得到所述可延展性基底層上沉積一層絕緣材料，得到底部絕緣層；
在所述底部絕緣層上濺射一層金屬薄膜，得到金屬層，然后圖形化所述金屬層，得到蜿蜒狀的所述金屬層；
在所述金屬層的上方沉積一層絕緣材料，得到頂部絕緣層，然后在所述頂部絕緣層上制備掩模并圖形化，利用掩模刻蝕圖形化所述頂部絕緣層、所述底部絕緣層，得到蜿蜒狀的所述底部絕緣層、所述頂部絕緣層；
溶解所述犧牲層，釋放器件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器的制備方法，其特征在于，所述可延展性基底材料為聚二甲基硅氧烷。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器的制備方法，其特征在于，所述絕緣材料為聚對二甲苯。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器的制備方法，其特征在于，所述金屬薄膜的材料為金。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種基于蜿蜒線的柔性MEMS可延展傳感器的制備方法，其特征在于，所述犧牲層的材料為鋁。
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