[發明專利]一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝在審
| 申請號： | 201911409097.0 | 申請日： | 2019-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN111039579A | 公開（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發明（設計）人： | 王鑫;安德吉;張磊;曹明剛;曲東輝;金作林;焦新宇 | 申請（專利權）人： | 滄州天瑞星光熱技術有限公司 |
| 主分類號： | C03C27/00 | 分類號： | C03C27/00;F24S10/70;F24S70/225;F24S70/25;F24S80/58 |
| 代理公司： | 北京邦創至誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 張宇鋒 |
| 地址： | 061000 河北省滄州*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 降低 玻璃 金屬 結構 應力 低溫 退火 工藝 | ||
1.一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，包括如下步驟：
步驟一：將封接好的玻璃-金屬封接段放入退火爐中；
步驟二：將退火爐中的溫度由室溫升至200℃，升溫速率為5-10℃/min，在200℃的溫度下保持10-30min；
步驟三：將退火爐中的溫度由200℃升至350℃，升溫速率為3-8℃/min，在350℃的溫度下保持30-60min；
步驟四：將退火爐中的溫度由350℃升至450℃，升溫速率為3-8℃/min，在350℃的溫度下保持30-60min；
步驟五：將退火爐中的溫度由450℃升至520℃，升溫速率為3-6℃/min，在520℃的溫度下保持60-100min；
步驟六：將退火爐中的溫度由520℃降至470℃，降溫速率為3-6℃/min，在350℃的溫度下保持60-100min；
步驟七：將退火爐中的溫度由470℃降至370℃，降溫速率為3-8℃/min，在350℃的溫度下保持30-60min；
步驟八：將退火爐中的溫度由370℃降至300℃，降溫速率為3-8℃/min，在350℃的溫度下保持30-60min；
步驟九：將退火爐中的溫度由300℃降至室溫，采用自然降溫的方式。
2.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟二中，升溫速率為8℃/min，保溫時間為20min。
3.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟三中，升溫速率為7℃/min，保溫時間為40min。
4.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟四中，升溫速率為6℃/min，保溫時間為40min。
5.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟五中，升溫速率為4℃/min，保溫時間為70min。
6.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟六中，降溫速率為4℃/min，保溫時間為70min。
7.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟七中，降溫速率為6℃/min，保溫時間為40min。
8.根據權利要求1所述的一種降低玻璃-金屬封接結構應力的低溫退火工藝，其特征在于，在步驟八中，降溫速率為8℃/min，保溫時間為40min。
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