[發明專利]一種帶自動光闌的離子源系統及離子束加工系統

在審

• 申請號: 201911407475.1
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN111081513A
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長沙埃福思科技有限公司
• 主分類號: H01J37/09
• 分類號: H01J37/09;H01J37/20;H01J37/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子束自動光闌，包括離子源(71)和自動光闌(72)，其特征是自動光闌(72)位于離子源(71)發射出的離子束路徑上并可自動調節光闌孔徑，從而調節下游離子束的束徑。

2.根據權利要求1所述的一種離子束自動光闌，其特征在于，自動光闌(72)包括驅動控制單元(721)及與其連接的傳動小齒輪(722)；傳動齒輪(723)與傳動小齒輪(722)相互嚙合；傳動齒輪(723)盤面設置有平面矩形螺紋A，活動爪(724)底面設置有與平面矩形螺紋A相互嚙合的平面矩形螺紋B；擋片(725)沿圓周均勻對稱分布并與活動爪(724)連接；殼體(726)約束活動爪(724)沿徑向滑動。

3.根據權利要求1所述的一種離子束自動光闌，其特征在于，自動光闌(72)包括驅動控制單元(721)及與之連接的傳動小齒輪(722)；傳動齒輪(727)與傳動小齒輪(722)相互嚙合；旋轉殼體(7210)與傳動齒輪(727)連接；光圈葉片(728)其一端與固定環(729)連接，另一端與旋轉殼體(7210)連接。

4.根據權利要求2所述的一種離子束自動光闌，其特征是所述自動光闌(72)可以調節至完全閉合，從而控制離子束的有無。

5.根據權利要求3所述的一種離子束自動光闌，其特征是所述自動光闌(72)可以調節至完全閉合，從而控制離子束的有無。

6.一種帶自動光闌的離子源系統，其特征是在離子源系統中應用了權利要求1至5中的任一離子束自動光闌。

7.一種帶自動光闌的離子束加工系統，其特征是離子束加工系統采用了權利要求6的帶自動光闌的離子源系統。

8.根據權利要求7所述一種帶自動光闌的離子束加工系統，其特征是所述離子束加工系統包括通過插板閥(4)可相互連通或關閉的主真空室(8)與副真空室(1)；主真空室(8)中設置有帶自動光闌的離子源(7)以及用于帶動離子源(7)運動的離子源運動系統(6)；副真空室(1)中設置有工件(2)的加工工位以及驅動工位運動的工件運動系統(5)。

9.根據權利要求8所述一種帶自動光闌的離子束加工系統，其特征是所述離子源運動系統(6)包括由X向運動單元(61)、Y向運動單元(62)、Z向運動單元(63)組成的直線運動系統和由A向轉動單元(64)和B向轉動單元(65)組成的轉動系統。