[發(fā)明專利]一種基板裝卸控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911407321.2
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN113118965B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發(fā)明（設計）人: 趙德文;劉遠航;王宇
• 申請（專利權）人: 清華大學;華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005;B24B37/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基板裝卸控制方法，用于承載頭與裝卸部之間的基板傳輸控制，其特征在于，控制部通過監(jiān)控承載頭的彈性膜的腔室壓力，判定并執(zhí)行承載頭自裝卸部吸合基板或承載頭卸載基板至裝卸部的流程；所述承載頭吸合基板的流程包括：

S11，承載頭的彈性膜自中心腔室向外部腔室依次加壓；

S12，承載頭的彈性膜自中心腔室向外部腔室依次抽真空；

S13，判定基板與彈性膜是否吸合；

其中，步驟S12時，彈性膜的最外側腔室施加正壓；

所述承載頭卸載基板的流程包括：

S21，彈性膜的最外側腔室抽真空且彈性膜的中心腔室加壓；

S22，彈性膜自最外側腔室向中心腔室依次抽真空；

S23，判定基板與彈性膜是否分離。

2.如權利要求1所述的基板裝卸控制方法，其特征在于，所述彈性膜的腔室壓力達到預設值時，控制部按照設定流程執(zhí)行承載頭自裝卸部吸合基板或承載頭卸載基板至裝卸部的流程。

3.如權利要求1所述的基板裝卸控制方法，其特征在于，所述彈性膜的腔室壓力值與預設值的差值在允許范圍內(nèi)時，控制部按照設定流程執(zhí)行承載頭自裝卸部吸合基板或承載頭卸載基板至裝卸部的流程。

4.如權利要求1所述的基板裝卸控制方法，其特征在于，所述彈性膜的壓力監(jiān)控腔室為一個或多個。

5.如權利要求1所述的基板裝卸控制方法，其特征在于，控制部通過監(jiān)控承載頭的彈性膜的腔室流量，判定并執(zhí)行承載頭自裝卸部吸合基板或承載頭卸載基板至裝卸部的流程。

6.一種基板裝卸控制系統(tǒng)，其特征在于，包括存儲器、處理器以及存儲在所述存儲器中并可在所述處理器上運行的計算機程序，所述處理器執(zhí)行所述計算機程序是實現(xiàn)如權利要求1至5任一項所述方法的步驟。

7.一種計算機可讀存儲介質(zhì)，其特征在于，所述計算機可讀存儲介質(zhì)存儲有計算機程序，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權利要求1至5任一項所述方法的步驟。