[發明專利]一種環氧封裝微型二極管及制作工藝

有效

• 申請號: 201911403212.3
• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN110970298B
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: 劉德軍;閆義奇;丁曉宏;張開云;遲鴻燕;楊春梅
• 申請（專利權）人: 中國振華集團永光電子有限公司（國營第八七三廠）
• 主分類號: H01L21/329
• 分類號: H01L21/329;H01L21/50;H01L21/60
• 代理公司: 貴州派騰知識產權代理有限公司 52114
• 代理人: 汪勁松

1.一種環氧封裝微型二極管的制作工藝，其步驟為：

1)管芯制作：按常規工藝制作硅片后將其裂片為管芯；

2)引線加工：用具有彈性的金屬絲制作引線；

3)管芯裝配：使用引線將管芯夾緊在引線之間；

4)引線焊接：將管芯緩慢放入融化的錫鍋中再緩慢取出冷卻；

5)腐蝕：使用腐蝕液對管芯臺面進行酸腐蝕、堿腐蝕、清洗、鈍化；

6)臺面鈍化：在管芯上涂上硅橡膠；

7)封裝：使用環氧樹脂涂覆管芯后固化；

8)引線正負極分離：將引線中部剪開，加工完成；

所述引線為U型,其兩末端折彎90°后接觸；

所述步驟4)中使用鑷子尖端夾住管芯放入錫鍋中1～3秒,然后取出冷卻1～3秒；

所述步驟5)中酸腐蝕采用酸腐蝕液，酸腐蝕液按質量百分比是分析純的65％～68％的硝酸、≥40％的氫氟酸、95％～98％的硫酸、≥99.5％的冰乙酸、≥99.5％的磷酸按體積比1.2：1：1：2：2的混合溶液；

所述步驟5)中堿腐蝕采用堿腐蝕液，堿腐蝕液為3％～6％的氫氧化鉀溶液，其堿腐蝕溫度為58～98℃；

所述步驟5)中鈍化采用鈍化液，鈍化液按質量百分比是≥30％的雙氧水、≥85％的磷酸和離子水按2:2:5混合的混合液；

所述步驟5)中清洗采用清洗液，清洗劑按質量百分比是65％～68％的硝酸、≥40％的氫氟酸、95％～98％的硫酸、≥99.5％的冰乙酸按體積比8:2:2:5的混合溶液；

所述步驟6)中固化采用低溫固化，低溫成型的升溫速率10～15℃/min，升溫時間45～65min，燒結溫度600～680℃，恒溫時間5～40min，降溫速率≤5℃/min。