[發(fā)明專利]一種用于化學機械拋光的承載頭及晶圓承載裝置

在審

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• 申請日: 2019-12-30
• 公開（公告）號: CN110834269A
• 公開（公告）日: 2020-02-25
• 發(fā)明（設計）人: 趙德文;劉遠航;孟松林
• 申請（專利權(quán)）人: 清華大學;天津華海清科機電科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B53/017;H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于化學機械拋光的承載頭，其特征在于，包括配置于所述承載頭頂部的用于將承載頭裝配至驅(qū)動單元的法蘭盤，所述法蘭盤具有定位銷，所述定位銷的主體由金屬材料制成并且其部分或全部表面設置有避免產(chǎn)生磨損的非金屬結(jié)構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的承載頭，其特征在于，所述非金屬結(jié)構(gòu)設置于所述定位銷的用于插入驅(qū)動單元的定位銷孔的端面處。

3.如權(quán)利要求1或2所述的承載頭，其特征在于，所述非金屬結(jié)構(gòu)形成為圓臺，所述圓臺與定位銷結(jié)合的底面的直徑等于所述定位銷的結(jié)合面的直徑并且所述圓臺頂面的直徑小于等于所述定位銷的直徑。

4.如權(quán)利要求1或2所述的承載頭，其特征在于，所述非金屬結(jié)構(gòu)由塑料、陶瓷、玻璃中的至少一種制成。

5.如權(quán)利要求4所述的承載頭，其特征在于，所述塑料為硬質(zhì)工程塑料。

6.如權(quán)利要求5所述的承載頭，其特征在于，所述硬質(zhì)工程塑料為硬質(zhì)聚氯乙烯、聚乙烯、有機玻璃、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯、尼龍、PET、ABS、PEEK和/或PPS。

7.如權(quán)利要求1或2所述的承載頭，其特征在于，所述非金屬結(jié)構(gòu)由含有纖維和/或石墨烯的復合塑料制成。

8.如權(quán)利要求1或2所述的承載頭，其特征在于，所述金屬材料為不含有鋁元素的硬質(zhì)金屬材料。

9.一種晶圓承載裝置，包括承載頭和上部驅(qū)動單元，所述承載頭通過連接組件耦接至所述上部驅(qū)動單元，所述連接組件包括定位銷和兩片具有定位銷孔的法蘭盤，所述定位銷設置于上部驅(qū)動單元的底部的法蘭盤和/或設置于承載頭的頂部的法蘭盤,所述定位銷的部分或全部表面設置有非金屬結(jié)構(gòu)使得所述定位銷與所述法蘭盤彼此接觸而不產(chǎn)生磨損和/或不產(chǎn)生金屬污染物。

10.一種晶圓承載裝置，包括承載頭和上部驅(qū)動單元，所述承載頭通過連接組件耦接至所述上部驅(qū)動單元，所述連接組件包括定位銷和兩片具有定位銷孔的法蘭盤，所述定位銷設置于上部驅(qū)動單元的底部的法蘭盤和/或設置于承載頭的頂部的法蘭盤,所述定位銷由非金屬材料制成，使得所述定位銷與所述法蘭盤彼此接觸而不產(chǎn)生磨損和/或不產(chǎn)生金屬污染物。