[發明專利]一種金屬冗余圖形的添加方法在審
| 申請號： | 201911387929.3 | 申請日： | 2019-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN111199132A | 公開（公告）日： | 2020-05-26 |
| 發明（設計）人： | 張美麗 | 申請（專利權）人： | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號： | G06F30/392 | 分類號： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;馬盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 冗余 圖形 添加 方法 | ||
1.一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，包括如下步驟：
S01：提供原始版圖，所述原始版圖包含由金屬線組成的金屬層、金屬層間通孔、有源區通孔和金屬冗余圖形阻擋層；
S02：通過版圖邏輯運算找出金屬線中距離相鄰金屬線的距離大于等于距離閾值的金屬邊；
S03：將所述金屬邊分別往外擴大W1和W2，形成多邊形m1和m2，通過邏輯運算，得出所述多邊形m1和m2重疊的部分，即為臨時金屬冗余圖形；其中，W2＝W1+S，S為該金屬邊所在金屬線的寬度；
S04：對所述臨時金屬冗余圖形進行后處理，即可得到待添加的金屬冗余圖形；
S05：通過版圖邏輯運算找出步驟S04中所述金屬冗余圖形中距離相鄰金屬線的距離大于等于距離閾值的金屬邊，重復步驟S03-S04N次，完成原始版圖中金屬冗余圖形的添加。
2.根據權利要求1所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟S02具體包括：
S021：通過版圖邏輯運算找出線寬小于設定閾值的金屬線；
S022：并在上述金屬線中篩選出與相鄰金屬線的距離大于等于距離閾值的金屬邊。
3.根據權利要求2所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述距離閾值p＝2x+y，其中，x為金屬冗余圖形到金屬線之間的最小距離，y為原始版圖中的最小金屬線寬。
4.根據權利要求1所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟S04后處理包括：對臨時金屬冗余圖形進行禁止區域退邊。
5.根據權利要求1所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟S04后處理包括：對臨時金屬冗余圖形進行短邊延長，且短邊延長部分不得進入禁止區域。
6.根據權利要求1所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟S04后處理包括：對完全進入禁止區域的金屬冗余圖形進行刪除。
7.根據權利要求1所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟S04后處理包括：去除違反設計規則的臨時金屬冗余圖形。
8.根據權利要求7所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述去除違反設計規則的臨時金屬冗余圖形具體包括：去除面積小于a，長度小于l，寬度小于w的臨時金屬冗余圖形。
9.根據權利要求1所述的一種金屬冗余圖形的添加方法，其特征在于，所述步驟S05中重復步驟S03-S04一次，即可完成原始版圖中金屬冗余圖形的添加。
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