[發明專利]由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體及其合成方法在審
| 申請號： | 201911385256.8 | 申請日： | 2019-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN111100007A | 公開（公告）日： | 2020-05-05 |
| 發明（設計）人： | 郭穎;潘惠英;喻珍林;蔣小惠;王尹卓 | 申請（專利權）人： | 上海博棟化學科技有限公司 |
| 主分類號： | C07C69/757 | 分類號： | C07C69/757;C07C67/04;G03F7/004 |
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| 地址： | 201614 上海市松江*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 羧酸 化合物 合成 光刻 樹脂 單體 及其 方法 | ||
1.一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述光刻膠樹脂單體的結構通式為式I：
式I中，R為直鏈或支鏈烷基。
2.根據權利要求1所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述光刻膠樹脂單體的結構式為式II或式III：
3.一種如權利要求1或2所述的由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，包括以下步驟：
將乙烯基醚醇類化合物與丙烯酸類化合物進行酯化反應，得到中間體；
將所述中間體與2,5-二氧代雙環[2.2.2]辛烷-1,4-二羧酸進行加成反應，得到所述光刻膠樹脂單體。
4.根據權利要求3所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述乙烯基醚醇類化合物與所述丙烯酸類化合物的摩爾比為1:(1～1.2)。
5.根據權利要求3所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述中間體與所述2,5-二氧代雙環[2.2.2]辛烷-1,4-二羧酸的摩爾比為(2～2.2):1。
6.根據權利要求3所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述酯化反應的步驟，具體包括：
將乙烯基醚醇類化合物與丙烯酸類化合物置于溶劑中，在三乙胺作用下發生酯化反應，得到中間體。
7.根據權利要求3所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述加成反應的步驟，具體包括：
將所述中間體與2,5-二氧代雙環[2.2.2]辛烷-1,4-二羧酸置于75～85℃的條件下進行攪拌反應后，再經減壓蒸餾，得到所述光刻膠樹脂單體。
8.根據權利要求3所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述乙烯基醚醇類化合物的結構式為式IV或式V：
9.根據權利要求3所述的一種由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述丙烯酸類化合物為甲基丙烯酰氯。
10.一種如權利要求1或2所述的由羧酸化合物合成的光刻膠樹脂單體在光刻材料中的應用。
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