[發明專利]由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑及其合成方法在審
| 申請號： | 201911384565.3 | 申請日： | 2019-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN111138405A | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發明（設計）人： | 喻珍林;蔣小惠;李嫚嫚;潘惠英;王尹卓 | 申請（專利權）人： | 上海博棟化學科技有限公司 |
| 主分類號： | C07D333/10 | 分類號： | C07D333/10;C07C303/32;C07C309/12;C07C309/17;G03F7/004 |
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| 地址： | 201614 上海市松江*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 廣藿香 合成 磺酸锍 鹽類 產生 及其 方法 | ||
1.一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑，其特征在于，所述磺酸锍鹽類光酸產生劑的結構通式為式I：
式中，R1為中的一種；R2為烷基、環烷基、雜烷基、雜環烷基、含酯基的烷基和含氟烷基中的一種。
2.根據權利要求1所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑，其特征在于，所述磺酸锍鹽類光酸產生劑的結構式為式II、式III、式IV和式V中的一種：
3.一種如權利要求1～2中任一項所述的由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，包括以下步驟：
將廣藿香醇與磺酸鹽類化合物進行反應，得到中間體；
將所述中間體與(環己-1,5-二烯基氧基)-三甲基-硅烷、四亞甲基亞砜、三氟乙酸酐進行反應，得到所述磺酸锍鹽類光酸產生劑。
4.根據權利要求3所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，所述磺酸鹽類化合物為含羧基的磺酸鹽；所述將廣藿香醇與磺酸鹽類化合物進行反應，得到中間體的步驟，具體包括：
將廣藿香醇與含羧基的磺酸鹽進行酯化反應，得到中間體；所述中間體為含有廣藿香醇酯基的磺酸鹽。
5.根據權利要求3所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，所述磺酸鹽類化合物為含羥基的磺酸鹽；所述將廣藿香醇與磺酸鹽類化合物進行反應，得到中間體的步驟，具體包括：
將廣藿香醇與含羥基的磺酸鹽進行反應，得到中間體；所述中間體為含有廣藿香醇碳酸酯基的磺酸鹽。
6.根據權利要求3所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，所述磺酸鹽類化合物為含羥基的磺酸鹽；所述將廣藿香醇與磺酸鹽類化合物進行反應，得到中間體的步驟，具體包括：
將廣藿香醇與含酯基的鹵代物進行反應，得到含酯基的醚類化合物；
將所述含酯基的醚類化合物在堿性條件下進行酯基水解，并調至酸性后，得到含羧基的醚類化合物；
將所述含羧基的醚類化合物與含羥基的磺酸鹽進行酯化反應，得到中間體；所述中間體為含有酯基的磺酸鹽。
7.根據權利要求4～6中任一項所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，所述磺酸鹽類化合物為磺酸鈉鹽類化合物、磺酸鉀鹽類化合物和磺酸鋰鹽類化合物中的一種。
8.根據權利要求4或6所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，所述酯化反應采用對甲基苯磺酸作為催化劑。
9.根據權利要求5所述的一種由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑的合成方法，其特征在于，所述將廣藿香醇與含羥基的磺酸鹽進行反應，得到中間體的步驟，具體包括：
將廣藿香醇與含羥基的磺酸鹽置于含有吡啶和二(三氯甲基)碳酸酯的體系下進行反應，得到中間體。
10.一種如權利要求1～2中任一項所述的由廣藿香醇合成的磺酸锍鹽類光酸產生劑在光刻材料中的應用。
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