[發明專利]含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體及其合成方法在審
| 申請號： | 201911384563.4 | 申請日： | 2019-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN111138288A | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發明（設計）人： | 潘惠英;蔣小惠;李嫚嫚;喻珍林;賀寶元 | 申請（專利權）人： | 上海博棟化學科技有限公司 |
| 主分類號： | C07C69/54 | 分類號： | C07C69/54;C07D309/12;C07D301/14;C07D303/32;C07C45/64;C07C49/493;C07C67/14;C07C67/29;C08F220/28;C08F220/32;G03F7/004 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 含五元 環狀 結構 光刻 樹脂 單體 及其 合成 方法 | ||
1.一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述光刻膠樹脂單體的結構通式為式I或式II：
式中，R1為甲基或氫；R2、R3分別獨立地為氫、烷基、環烷基中的一種；R4為烷基或環烷基；n為不小于1的整數；R’為氫、烷基、環烷基中的一種。
2.根據權利要求1所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述光刻膠樹脂單體的結構式為式III～式XIV中的一種：
3.一種如權利要求1～2中任一項所述的含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，包括以下步驟：
將4-環戊烯-1,3-二酮與氧化劑進行氧化反應，得到三元環氧結構的第一中間體；
將所述第一中間體在酸/水體系下進行水解，得到二醇化合物；
在堿性體系下，將所述二醇化合物與丙烯酰氯或者甲基丙烯酰氯進行反應，得到第二中間體；
將所述第二中間體與通式為式XV的鹵代物進行反應，得到通式為式I的光刻膠樹脂單體；或者將所述第二中間體與通式為式XVI的鄰烯基環醚結構化合物進行反應，得到通式為式II的光刻膠樹脂單體；
4.根據權利要求3所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述氧化劑為間氯過氧苯甲酸和/或過氧化氫。
5.根據權利要求3所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述酸/水體系中的酸為硫酸和/或三氟甲磺酸。
6.根據權利要求3所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述將所述第二中間體與通式為式XV的鹵代物進行反應，得到通式為式I的光刻膠樹脂單體的步驟，具體包括：
在堿性體系下，將所述第二中間體與通式為式XV的鹵代物進行反應，得到通式為式I的光刻膠樹脂單體。
7.根據權利要求3或6所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述堿性體系為有機堿體系；所述有機堿為三乙胺、二異丙基胺、吡啶中的一種。
8.根據權利要求3所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述將所述第二中間體與通式為式XVI的鄰烯基環醚結構化合物進行反應，得到通式為式II的光刻膠樹脂單體的步驟，具體包括：
在甲磺酸催化下，將所述第二中間體與通式為式XVI的鄰烯基環醚結構化合物進行加成反應，得到通式為式II的光刻膠樹脂單體。
9.根據權利要求8所述的一種含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體的合成方法，其特征在于，所述通式為式XVI的鄰烯基環醚結構化合物的合成方法包括以下步驟：
將通式為R4OH的化合物與通式為R2COR3的化合物在鹵化氫和硫酸鈉作用下進行反應，得到所述通式為式XVI的鄰烯基環醚結構化合物。
10.一種如權利要求1～2中任一項所述的含五元環狀β-酮結構的光刻膠樹脂單體在光刻材料中的應用。
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