[發明專利]驅動裝置、介電彈性體致動器及其制作方法在審
| 申請號： | 201911380485.0 | 申請日： | 2019-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN111129283A | 公開（公告）日： | 2020-05-08 |
| 發明（設計）人： | 楊桂林;張昊;張馳;谷樂豐 | 申請（專利權）人： | 中國科學院寧波材料技術與工程研究所 |
| 主分類號： | H01L41/047 | 分類號： | H01L41/047;H01L41/09;H01L41/29;H02N2/02 |
| 代理公司： | 杭州華進聯浙知識產權代理有限公司 33250 | 代理人： | 龍偉 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 驅動 裝置 彈性體 致動器 及其 制作方法 | ||
1.一種介電彈性體致動器的制作方法，其特征在于包括：
獲取介電彈性體和液態金屬；
將所述液態金屬附著于所述介電彈性體的兩側表面，得到所述介電彈性體致動器。
2.根據權利要求1所述的介電彈性體致動器的制作方法，其特征在于，將所述液態金屬附著于所述介電彈性體的方式包括以下之一：涂刷法、化學鍍膜法、真空填充法。
3.一種介電彈性體致動器，其特征在于，所述介電彈性體致動器包括：第一介電彈性體、第一液態金屬電極、第二液態金屬電極，其中，所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極分別附著于所述第一介電彈性體的兩側表面，且所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極能夠隨所述第一介電彈性體發生平面應變。
4.根據權利要求3所述的介電彈性體致動器，其特征在于，所述第一介電彈性體及其兩側表面附著的所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極呈平面狀設置。
5.根據權利要求3所述的介電彈性體致動器，其特征在于，所述介電彈性體致動器還包括絕緣層，所述第一介電彈性體及其兩側表面附著的所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極呈卷繞的筒狀設置，所述絕緣層設置于所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極之間。
6.根據權利要求5所述的介電彈性體致動器，其特征在于，所述絕緣層為第二介電彈性體。
7.根據權利要求3所述的介電彈性體致動器，其特征在于，所述第一介電彈性體及其兩側表面附著的所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極交替折疊為立體形狀。
8.根據權利要求3所述的介電彈性體致動器，其特征在于，所述介電彈性體致動器還包括第一引出電極和/或第二引出電極，其中，所述第一引出電極電連接于所述第一液態金屬電極，所述第二引出電極電連接于所述第二液態金屬電極。
9.根據權利要求3至8中任一項所述的介電彈性體致動器，其特征在于，制成所述第一液態金屬電極和所述第二液態金屬電極的液態金屬中摻雜有固態金屬微粒或固態金屬離子。
10.一種驅動裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括一個或者多個如權利要求3至9中任一項所述的介電彈性體致動器,其中，所述驅動裝置利用所述介電彈性體致動器在厚度和/或面積上產生的電致形變產生作用力。
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