[發明專利]一種槽蓋熱風循環烘箱

在審

• 申請號: 201911380177.8
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111306902A
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 王相軍
• 申請（專利權）人: 上海釜川自動化設備有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/00;F26B21/04
• 代理公司: 北京專贏專利代理有限公司 11797
• 代理人: 劉梅

本發明適用于光伏用硅片加工技術領域，提供了一種槽蓋熱風循環烘箱，包括烘箱外殼，其內設有隔板，將所述烘箱外殼分隔成烘干腔和風道，烘箱外殼上設有與所述風道連通的槽蓋，所述風道內安裝有加熱裝置，槽蓋上設有若干出風口，所述出風口與所述烘干腔位置相對；硅片定位裝置，設置在所述烘箱外殼的烘干腔內，用于對硅片進行裝夾定位；以及風循環裝置，用于使熱風在所述烘干腔和風道之間循環運動，本發明的有益效果是：熱風從槽蓋上設置的出風口均勻的進入到烘干腔內，并且熱風的出風方向與硅片的所在平面保持平行，且能根據氣流角度對硅片的角度進行調整，不易造成硅片被吹碎的情況。

技術領域

本發明涉及光伏用硅片加工技術領域，尤其涉及一種槽蓋熱風循環烘箱。

背景技術

單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發展的前沿。其主要用途是用作半導體材料和利用太陽能光伏發電、供熱 等。由于太陽能具有清潔、環保、方便等諸多優勢，近三十年來，太陽能利用技術在研究開發、商業化生產、市場開拓方面都獲得了長足發展，成為世界快速、穩定發展的新興產業之一。

在硅片的烘干作業中，由于硅片又脆又薄，原有的熱風循環烘箱內各個地方出風不均勻，使得吹向硅片的風不均勻，有的地方風力大有的地方風力小，導致有的硅片烘不干，有的硅片被循環風吹碎。

發明內容

本發明實施例的目的在于提供一種槽蓋熱風循環烘箱，旨在解決背景技術中提出的技術問題。

本發明實施例是這樣實現的，一種槽蓋熱風循環烘箱，包括：

烘箱外殼，其內設有隔板，將所述烘箱外殼分隔成烘干腔和風道，烘箱外殼上設有與所述風道連通的槽蓋，所述風道內安裝有加熱裝置，槽蓋上設有若干出風口，所述出風口與所述烘干腔位置相對；

硅片定位裝置，設置在所述烘箱外殼的烘干腔內，用于對硅片進行裝夾定位；以及

風循環裝置，用于使熱風在所述烘干腔和風道之間循環運動。

作為本發明進一步的方案：所述硅片定位裝置上設有萬向夾裝件，所述萬向夾裝件用于插放所述硅片，且調節所述硅片，使得硅片所在平面與熱風出風方向保持平行。

作為本發明再進一步的方案：所述萬向夾裝件包括底座、萬向球座和萬向球，所述萬向球座通過底座安裝在所述硅片定位裝置上，萬向球與所述萬向球座活動配合，所述萬向球上開設有定位槽。

作為本發明再進一步的方案：所述硅片定位裝置固定在所述放置板上，所述放置板上設有若干開孔，放置板與所述烘箱外殼抽拉配合。

作為本發明再進一步的方案：所述放置板的出風端處連接有回風濾網，所述回風濾網穩定風場，使進入到所述風循環裝置的風力保持穩定。

作為本發明再進一步的方案：所述風循環裝置包括扇葉和電機，所述扇葉處于風道與所述烘干腔的連接處，所述扇葉由電機驅動轉動。

作為本發明再進一步的方案：所述隔板在靠近所述槽蓋的位置還開設有若干副出風口，所述副出風口的出風量小于所述出風口的出風量。

作為本發明再進一步的方案：還包括控制裝置，所述控制裝置與加熱裝置和風循環裝置連接，用于控制所述加熱裝置和所述風循環裝置連接。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：空氣經過加熱裝置的加熱之后進入到槽蓋內，熱風從槽蓋上設置的出風口均勻的進入到烘干腔內，并且熱風的出風方向與硅片的所在平面保持平行，且能根據氣流角度對硅片的角度進行調整，不易造成硅片被吹碎的情況，熱風將硅片上的水分烘干后，再經過風循環裝置進入到風道內被加熱裝置所加熱，硅片烘干效率高，碎片率低。

附圖說明

圖1為一種槽蓋熱風循環烘箱的結構示意圖。