[發明專利]對準標記圖像制作方法、對準標記測量方法及測量裝置

有效

• 申請號: 201911380080.7
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN113048905B
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 陳躍飛;徐兵
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本發明提供了一種對準標記圖像制作方法、對準標記測量方法及測量裝置，其中，對準標記圖像制作方法中首先獲取包含目標對準標記的圖像，然后截取包含目標對準標記的目標區域，生成子圖，并計算目標對準標記的尺寸，最后繪制對準標記圖像。對準標記測量方法中首先采用如上所述的對準標記圖像制作方法，基于金屬掩模上的一目標對準標記制作對準標記圖像，并獲取金屬掩模的圖像，然后將金屬掩模的圖像與對準標記圖像進行比對，篩選出所有與目標對準標記相匹配的對準標記，最后計算各個對準標記的位置。本發明中的對準標記測量方法通過在線制作對準標記圖像，提高了測量結果的可信度，縮短了測量時間，而且擴大了測量裝置的適用范圍。

技術領域

本發明涉及TFT技術領域，特別涉及一種標記圖像制作方法、對準標記測量方法及測量裝置。

背景技術

在顯示裝置的制作工序中，包括一道有機發光體蒸鍍工藝，需要用到高精度的金屬掩模作為蒸鍍模板，金屬掩模的質量對顯示裝置的質量、成品率有極大地影響，在顯示裝置行業，金屬掩模是制約顯示裝置發展的關鍵因素。

金屬掩模典型的結構包括兩個部分，其中一部分是金屬框，另一部分是帶有精密圖形的金屬片。金屬框提供結構支撐，金屬片上的精密圖形為蒸鍍圖形轉印的基準，另外，在金屬片上還設有對準標記，用于后續進行基板與金屬掩模的對準。在金屬掩模的制作中的每個環節都非常關鍵，其中將制作好的金屬掩模進行位置精度、開口大小以及對準標記的檢測是最終金屬掩模的品質好壞的決定性環節，現有技術中金屬掩模上基于主流工藝制作的對準標記尺寸、位置精度誤差波動比較大，在對金屬掩模進行測量時，使用測量裝置中預先生成的對準標記圖像不能很好地進行匹配對準標記，導致測量結果可信度降低，且測量時間較長。

發明內容

本發明的目的在于提供一種標記圖像制作方法、對準標記測量方法及測量裝置，以解決現有技術中金屬掩模上基于主流工藝制作的對準標記尺寸、位置精度誤差波動比較大，在對金屬掩模進行測量時，使用測量裝置中預先生成的對準標記圖像不能很好地進行匹配對準標記，導致測量結果可信度降低，且測量時間長的問題。具體技術方案如下：

第一方面，本發明提供一種對準標記圖像制作方法，包括：

獲取包含目標對準標記的圖像；

在所述圖像中截取包含所述目標對準標記的目標區域，生成子圖；

在所述子圖中計算所述目標對準標記的尺寸；

根據所述尺寸繪制所述目標對準標記對應的對準標記圖像。

可選的，在所述子圖中計算所述目標對準標記的尺寸，包括：

從所述子圖中獲取所述目標區域內的輪廓信息；

根據預先設定的所述目標對準標記的設計尺寸，篩選出所述目標對準標記的輪廓信息；

根據預先設定的所述目標對準標記的標記類型和所述目標對準標記的輪廓信息，對所述目標對準標記進行圖形擬合；

根據擬合形成的圖形計算所述目標對準標記的尺寸。

可選的，從所述子圖中獲取所述目標區域內的輪廓信息，包括：

將所述子圖轉化為二值圖像；

從所述二值圖像中獲得所述目標區域內的輪廓圖像，并從所述輪廓圖像中獲取所述目標區域內的輪廓信息；

可選的，將所述子圖轉化為二值圖像，包括：

利用固定閾值 分割方法或自適應閾值 分割方法將所述子圖轉化為二值圖像。

可選的，從所述二值圖像中獲得所述目標區域內的輪廓圖像，包括：

采用四領域邊界跟蹤法或八領域邊界跟蹤法查找所述二值圖像的邊緣，從而獲得所述目標區域內的輪廓圖像。