[發(fā)明專利]一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911376809.3
• 申請(qǐng)日: 2019-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN111447722A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝斌平;鹿建;王艷會(huì);趙子淳;葉雨城
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 姜杉

1.一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：包括能量耦合器、等離子產(chǎn)生器、進(jìn)氣結(jié)構(gòu)、離子束調(diào)節(jié)器、離子束擴(kuò)散區(qū)、束流聚焦區(qū)和真空腔體；所述等離子產(chǎn)生器連接所述能量耦合器；所述進(jìn)氣結(jié)構(gòu)連接所述等離子產(chǎn)生器；所述等離子產(chǎn)生器連接所述離子束調(diào)節(jié)器；所述離子束調(diào)節(jié)器連接所述離子束擴(kuò)散區(qū)；所述束流聚焦區(qū)連接所述離子束擴(kuò)散區(qū)；所述真空腔體連接所述束流聚焦區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：還包括真空密封隔離法蘭；所述真空密封隔離法蘭O形密封所述等離子產(chǎn)生器與所述進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的連接處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：還包括真空密封法蘭；所述真空密封法蘭O型密封離子束擴(kuò)散區(qū)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：還包括真空隔離閥；所述真空隔離閥連接所述離子束擴(kuò)散區(qū)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：所述能量耦合器和所述等離子產(chǎn)生器的連接處為向能量耦合器凸出的半橢球狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：所述等離子產(chǎn)生器的底部為封閉的。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：所述等離子產(chǎn)生器為中空管狀芯柱結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：所述等離子產(chǎn)生器在與所述真空密封隔離法蘭連接處口徑縮小。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-權(quán)利要求8任一所述的一種高效射頻等離子體源發(fā)生裝置，其特征在于：所述等離子產(chǎn)生器的外徑為6-40mm、內(nèi)徑為4-38mm、長(zhǎng)度為10-200mm。