[發明專利]一種高效射頻等離子體源發生裝置

在審

• 申請號: 201911376809.3
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111447722A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 謝斌平;鹿建;王艷會;趙子淳;葉雨城
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 姜杉

1.一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：包括能量耦合器、等離子產生器、進氣結構、離子束調節器、離子束擴散區、束流聚焦區和真空腔體；所述等離子產生器連接所述能量耦合器；所述進氣結構連接所述等離子產生器；所述等離子產生器連接所述離子束調節器；所述離子束調節器連接所述離子束擴散區；所述束流聚焦區連接所述離子束擴散區；所述真空腔體連接所述束流聚焦區。

2.根據權利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：還包括真空密封隔離法蘭；所述真空密封隔離法蘭O形密封所述等離子產生器與所述進氣結構的連接處。

3.根據權利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：還包括真空密封法蘭；所述真空密封法蘭O型密封離子束擴散區。

4.根據權利要求3所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：還包括真空隔離閥；所述真空隔離閥連接所述離子束擴散區。

5.根據權利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：所述能量耦合器和所述等離子產生器的連接處為向能量耦合器凸出的半橢球狀。

6.根據權利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：所述等離子產生器的底部為封閉的。

7.根據權利要求1所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：所述等離子產生器為中空管狀芯柱結構。

8.根據權利要求7所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：所述等離子產生器在與所述真空密封隔離法蘭連接處口徑縮小。

9.根據權利要求1-權利要求8任一所述的一種高效射頻等離子體源發生裝置，其特征在于：所述等離子產生器的外徑為6-40mm、內徑為4-38mm、長度為10-200mm。