[發明專利]晶圓研磨用頭在審
| 申請號： | 201911376594.5 | 申請日： | 2019-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN112658978A | 公開（公告）日： | 2021-04-16 |
| 發明（設計）人： | 持丸順行;小林裕志;五十嵐保成;上原幸夫;高岡和宏 | 申請（專利權）人： | 株式會社岡本工作機械制作所 |
| 主分類號： | B24B37/11 | 分類號： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓研磨用頭，其特征在于，包括：
卡盤機構，具備由彈性體形成的橡膠卡盤和由剛體形成的剛體卡盤；
第一壓力調整機構，能夠向所述橡膠卡盤的附近供給空氣；以及
第二壓力調整機構，能夠向所述剛體卡盤的附近供給空氣，
所述晶圓研磨用頭能夠通過切換所述第一壓力調整機構的空氣供給和所述第二壓力調整機構的空氣供給，而進行加工方法的切換。
2.根據權利要求1所述的晶圓研磨用頭，其特征在于，
所述橡膠卡盤構成為由其下面推壓作為加工對象的晶圓，
所述剛體卡盤構成為其下面能夠抵接于所述橡膠卡盤的上面。
3.根據權利要求2所述的晶圓研磨用頭，其特征在于，
所述第一壓力調整機構能夠向所述橡膠卡盤的上面與所述剛體卡盤的下面之間供給空氣，
所述第二壓力調整機構能夠向所述剛體卡盤的上面供給空氣。
4.根據權利要求1～3中任意一項所述的晶圓研磨用頭，其特征在于，所述剛體卡盤由多孔體形成。
5.根據權利要求1～4中任意一項所述的晶圓研磨用頭，其特征在于，
在由所述第一壓力調整機構供給空氣的狀態下，構成表面基準研磨的所述卡盤機構，
在由所述第二壓力調整機構供給空氣的狀態下，構成背面基準研磨的所述卡盤機構。
6.根據權利要求1～5中任意一項所述的晶圓研磨用頭，其特征在于，所述第一壓力調整機構能夠使所述橡膠卡盤的附近向大氣開放、以及能夠從所述橡膠卡盤的附近吸引空氣。
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