[發明專利]一種高精度晶體生長粉料給定控制裝置

在審

• 申請號: 201911372401.9
• 申請日: 2019-12-27
• 公開（公告）號: CN111005063A
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 趙琰;趙韋侖;張東;唐堅;董穎男;畢孝國
• 申請（專利權）人: 沈陽工程學院
• 主分類號: C30B11/10
• 分類號: C30B11/10;C30B29/16;C30B29/32
• 代理公司: 沈陽銘揚聯創知識產權代理事務所(普通合伙) 21241
• 代理人: 屈芳

1.一種高精度晶體生長粉料給定控制裝置，其特征在于，該裝置包括：控制器支撐件，所述控制器支撐件內安裝有PWM調速電機，所述PWM調速電機的旋轉軸承通過旋轉搖臂連接一旋轉-直線運動軸承，通過旋轉-直線運動軸承帶動直線運動定軸器上下運動，所述直線運動定軸器的端部伸出控制器殼體，在直線運動定軸器的端部安裝有振動位移調節頭；在晶體生長爐的上方設置給料倉，在所述給料倉豎直向端部對應直線運動定軸器的下方安裝有振動往復活塞，直線運動定軸器的上下運動觸動振動往復活塞使得振動往復活塞上下往復運動，所述振動往復活塞連接一振動桿，所述振動桿帶動給料倉倉底的粉體給料篩網按照設定的振幅和頻率振動向晶體生長爐內給料。

2.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述粉體給料篩網沿給料倉內壁按照給定頻率與振幅上下滑動。

3.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，該裝置包括可編程控制器，所述可編程控制器通過EM235模擬量模塊連接的料量傳感器采集的反饋信號確定給料量，根據控制要求采用內嵌控制算法將控制值送到PWM控制模塊控制所述PWM調速電機。

4.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，可編程控制器根據實際給料量與設定值之間的差值調節控制信號，當控制信號的差值大于一個步長時，按模糊控制的算法進行控制，當控制信號的差值小于一個步長時，采用連續控制算法進行控制。

5.按照權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述PWM調速電機輸出的頻率給定采用矢量控制模式，通過矢量坐標電路控制PWM調速電機定子電流的大小和相位，控制電動機轉矩。