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[發(fā)明專利]一種推拉雙腔體過渡高溫設備在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201911370336.6 申請日: 2019-12-26
公開(公告)號: CN111111804A 公開(公告)日: 2020-05-08
發(fā)明(設計)人: 孔令杰;繆宇琨;昌玉龍 申請(專利權)人: 合肥百思新材料研究院有限公司
主分類號: B01L7/00 分類號: B01L7/00
代理公司: 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160 代理人: 韓立峰
地址: 238000 安徽省巢湖市*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 推拉 雙腔體 過渡 高溫 設備
【權利要求書】:

1.一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,包括加熱爐一(8)、加熱爐二(15)、插板閥一(10)、石英舟(12)、插板閥二(13)、過渡艙(31)和設備框架(38),所述設備框架(38)的頂部一端水平安裝有滑軌一(2),所述滑軌一(2)通過滑塊與右端法蘭(4)連接,所述右端法蘭(4)的一端與試管一(7)連接,所述試管一(7)靠近右端法蘭(4)的頂部一端固定安裝有復合真空計一(5),所述復合真空計一(5)的一側固定安裝有壓力表一(6),所述試管一(7)遠離右端法蘭(4)的一端貫穿加熱爐一(8)且通過插板閥一(10)與過渡艙(31)連接,所述加熱爐一(8)固定安裝在設備框架(38)的頂部一端,所述試管一(7)靠近過渡艙(31)的頂部一端固定安裝有復合真空計二(9),所述過渡艙(31)固定安裝在設備框架(38)的頂部中心處,所述過渡艙(31)的頂部固定安裝有壓力表二(11),所述過渡艙(31)的內(nèi)部設置有石英舟(12),所述石英舟(12)一側與石英推桿(19)的一端連接,所述過渡艙(31)的另一端通過插板閥二(13)與試管二(16)連接,所述試管二(16)靠近插板閥二(13)的頂部一端固定安裝有復合真空計三(14),且所述試管二(16)貫穿加熱爐二(15)與左端法蘭(18)連接,所述試管二(16)靠近左端法蘭(18)的頂部一端固定安裝有壓力表三(17),所述加熱爐二(15)固定安裝在設備框架(38)的頂部另一端,所述左端法蘭(18)通過滑塊安裝在滑軌二(21),所述滑軌二(21)安裝在設備框架(38)頂部;所述石英推桿(19)的另一端貫穿復合真空計三(14)、試管二(16)和左端法蘭(18)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述設備框架(38)的內(nèi)部依次安裝有機械泵二(23)、機械泵三(25)、機械泵一(1),所述機械泵二(23)通過管道與試管二(16)連接,機械泵二(23)用于抽取試管二(16)內(nèi)腔體真空,所述機械泵三(25)通過管道與過渡艙(31)連接,機械泵三(25)用于抽取過渡艙(31)內(nèi)腔體真空,所述機械泵一(1)通過管道與試管一(7)連接,機械泵一(1)用于抽取試管一(7)內(nèi)腔體真空。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述設備框架(38)的一側依次安裝有氣體控制單元一(24)、氣體控制單元二(26)和蝶閥控制器(27)。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述試管一(7)的一側固定安裝有高真空蝶閥(28),所述高真空蝶閥(28)的另一側固定安裝有擋板閥(29)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述試管一(7)的一側通過平衡管路一(30)與過渡艙(31)連接。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述試管二(16)的一側通過平衡管路二(32)與過渡艙(31)連接。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述試管二(16)的一端開設有出氣口一(33),所述試管二(16)的另一端開設有進氣口一(34)。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種推拉雙腔體過渡高溫設備,其特征在于,所述試管一(7)的一端開設有出氣口二(36),所述試管一(7)的另一端開設有進氣口二(37)。

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