[發(fā)明專利]一種碳納米管場發(fā)射陰極的小型離子源在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911360686.4 | 申請日： | 2019-12-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN111146049A | 公開（公告）日： | 2020-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 董猛;成永軍;裴曉強(qiáng);習(xí)振華;張虎忠;馬亞芳;劉珈彤 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘭州空間技術(shù)物理研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01J1/304 | 分類號(hào)： | H01J1/304;H01J1/46;H01J49/16 |
| 代理公司： | 北京理工大學(xué)專利中心 11120 | 代理人： | 田亞琪 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 納米 發(fā)射 陰極 小型 離子源 | ||
1.一種碳納米管場發(fā)射陰極的小型離子源，其特征在于，包括碳納米管陰極、電離室、準(zhǔn)直磁鐵、推斥電極、聚焦電極、離子出口電極和物縫電極；
所述碳納米管陰極為依次由碳納米管、柵極和陽極組成的三電極結(jié)構(gòu)；
碳納米管陰極產(chǎn)生的電子進(jìn)入電離室，并在準(zhǔn)直磁鐵產(chǎn)生的磁場作用下電離中性氣體，電離得到的離子束依次在推斥電極、電離室、聚焦電極、離子出口電極和物縫電極所加載電壓產(chǎn)生的靜電場的作用下，加速、聚焦于物縫電極的圓孔處；
電離室出口與聚焦電極的間距為2mm，聚焦電極與離子出口電極的間距為2.5mm，離子出口電極和物縫電極的間距為9.5mm；
電離室電壓為U，聚焦電極的電壓為0.5U，推斥電極的電壓為(U+8)V，離子出口電極的電壓為-400V，物縫電極接地。
2.如權(quán)利要求1所述的一種碳納米管場發(fā)射陰極的小型離子源，其特征在于，電離室的電子入口孔徑為2.5mm，電離室的離子出口孔徑為1mm，聚焦電極孔徑為1.2mm，離子出口電極的孔徑為0.3mm，物縫電極的孔徑為0.6mm。
3.如權(quán)利要求1所述的一種碳納米管場發(fā)射陰極的小型離子源，其特征在于，推斥電極端面為正八邊形結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種碳納米管場發(fā)射陰極的小型離子源，其特征在于，準(zhǔn)直磁鐵的材料為釹鎳鈷或釹鐵硼的永磁材料。
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