[發明專利]一種新型磁鋼可調節平面陰極

在審

• 申請號: 201911360543.3
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN111020510A
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 張俊峰;趙子東;許春立;魏慶瑄
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型磁鋼可調節平面陰極，其特征在于，包括磁鋼座(1)、調節桿(2)、靶殼(3)、壓板(4)、磁鐵(5)、鎖緊螺母(6)、吊掛座(7)、靶板(8)，磁鋼座(1)通過調節桿(2)吊掛在靶殼(3)上，調節桿(2)與靶殼(3)的連接處通過壓板(4)壓緊設置，壓緊處通過鎖緊螺母(6)鎖緊固定，所述的磁鋼座(1)上安裝有磁鐵(5)，磁鐵(5)采用上下內外環形永磁體排布，外環比內環高出8mm，該排布方式削弱靶面附近的垂直磁場分量，同時使得水平磁場分量大大增強，使靶面附近的磁場呈較為平滑的分布；所述的靶殼(3)底部安裝有吊掛座(7)，靶殼(3)上部安裝有水槽板(9)、銅背板(10)，銅背板(10)上部通過靶材壓板(11)安裝有靶板(8)，靶材壓板(11)與銅背板(10)之間設置有靶材墊板(12)。

2.根據權利要求1所述的一種新型磁鋼可調節平面陰極，其特征在于，所述的磁鐵(5)由內端磁鐵(501)、外端磁鐵(502)和邊磁鐵(503)組成，內端磁鐵(501)、外端磁鐵(502)和邊磁鐵(503)安裝在磁鋼座(1)上，內端磁鐵(501)與邊磁鐵(503)組成了內環形永磁體排布結構，外端磁鐵(502)與邊磁鐵(503)組成了外環形永磁體排布結構。

3.根據權利要求1所述的一種新型磁鋼可調節平面陰極，其特征在于，所述的磁鋼座(1)上沿磁鋼座本體縱向每間隔150mm刻有一槽(13)，通過槽(13)將磁鋼座(1)分成多段，便于調節磁鋼座(1)，使磁鋼座(1)易產生變形。

4.根據權利要求3所述的一種新型磁鋼可調節平面陰極，其特征在于，所述的磁鋼座(1)的中間每段設置有六個吊桿孔(14)，磁鋼座(1)兩端的每段設置有四個吊桿孔(14)，調節桿(2)穿過吊桿孔(14)設置，調節桿(2)由壓板(4)壓緊，通過轉動各調節桿(2)，使磁鋼座(1)產生變形，帶動磁鐵微調升降，改變磁鐵位置，改變各點磁場強度，從而使磁場在整個靶面范圍內均勻地分布。