[發明專利]一種多弧技術與磁控技術合而為一的香檳金調色技術

在審

• 申請號: 201911358445.6
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN111041429A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 張俊峰;趙子東;許春立;呂治斌
• 申請（專利權）人: 上海子創鍍膜技術有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/06
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1.一種多弧技術與磁控技術合而為一的香檳金調色技術，其特征在于，在基片(1)上層依次通過多弧技術鍍Ti多弧打底層(2)，再通過真空磁控濺射的方法依次鍍有第一TiN過渡層(3)、第二TiN過渡層(4)，最后使用多弧技術鍍TiN多弧顏色層(5)，達到最終穩定的表面涂層顏色，其工藝步驟如下：

①將基片(1)經過CNC、拋光、超聲波清洗，使得工件基體表面光滑、清潔，便于膜層的沉積以及最終成品的光亮；

②抽真空：真空抽至8.0×10^-3Pa，剛開始是粗抽，從大氣抽至5pa，再用分子泵進行細抽；

③轟擊清洗：使用氬離子轟擊清洗、鈦轟擊；

④通過多弧鍍Ti多弧打底層(2)：

真空度：通入氬氣，真空度保持在2×10^-2pa，脈沖偏壓：200V，占空比50%，電弧電流：60-80a，引燃全部弧源，時間2-3min；

⑤通過真空磁控濺射的方法依次鍍有第一TiN過渡層(3)、第二TiN過渡層(4)：

通入氮氣使真空度保持在(3～5)×10^-1Pa，點鈦靶，使鈦靶功率為8KW，然后再逐漸加大N₂氣體，隨著N₂氣體量增大，色澤變化；

⑥多弧鍍TiN多弧顏色層(5)：

通入氮氣使真空度保持在(3～5)×10^-1Pa，然后再通入N₂，生成顏色穩定的香檳金色，電弧電流：50-70A，脈沖偏壓：150V，占空比60%，沉積溫度：200℃；

⑦冷卻：鍍膜工序結束后，首先關閉電弧電源、靶電源、偏壓電源，然后關閉氣源、停轉架，工件在真空鍍膜室內冷卻至80-100℃時，向鍍膜室內充大氣，取出工件。

2.根據權利要求1所述的一種多弧技術與磁控技術合而為一的香檳金調色技術，其特征在于，所述的步驟①中基片(1)采用不銹鋼或硬質合金基片。

3.根據權利要求1所述的一種多弧技術與磁控技術合而為一的香檳金調色技術，其特征在于，所述的步驟②中抽真空粗抽時，烘烤加熱至150℃，伴隨鍍膜室溫度的升高，器壁放氣會使真空度降低，然后又回升，等到溫度回升到6.6×10^-3Pa時方可進行鍍膜工作。

4.根據權利要求1所述的一種多弧技術與磁控技術合而為一的香檳金調色技術，其特征在于，所述的步驟③轟擊清洗中的氬離子轟擊清洗，其真空度：通入99.999%純度的氬氣真空度保持在2-3Pa，轟擊電壓：800-1000V，轟擊時間：10min。

5.根據權利要求1所述的一種多弧技術與磁控技術合而為一的香檳金調色技術，其特征在于，所述的步驟③轟擊清洗中的鈦轟擊，其真空度：通入99.999%純度的氬氣使真空度保持在2×10^-2pa，脈沖偏壓：400-500V，占空比20%，電弧電流：60-80A，輪換引燃電弧蒸發源，每個電弧蒸發源引燃1-2min。