[發明專利]氣體充裝系統及充裝方法

有效

• 申請號: 201911355853.6
• 申請日: 2019-12-25
• 公開（公告）號: CN110966518B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發明（設計）人: 馬棟梁;陳意橋;張國禎;于天
• 申請（專利權）人: 蘇州焜原光電有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 蘇芳玉

1.氣體充裝系統，包括一端連接供氣容器、另一端連接被充裝裝置的供氣管道，其特征在于，在供氣管道的與所述供氣容器相連接的一端設置有調壓閥、過濾器和隔離閥一，在與被充裝裝置相連接的一端設置有隔離閥五，過濾器位于隔離閥一和調壓閥間，供氣管道經由調壓閥連接供氣容器，在供氣管道上位于隔離閥一和隔離閥五間設置有高真空泵和真空規，高真空泵和真空規的進氣端均通過隔離閥與所述的供氣管道連接，在所述供氣管道上設置加熱裝置和溫度檢測裝置，所述加熱裝置的加熱器件與溫度控制裝置的輸出端電連接，溫度檢測裝置與溫度控制裝置的輸入端電連接，當對供氣管道抽真空時，關閉高純氦氣瓶及隔離閥五(7)，開啟調壓閥(14)及隔離閥一(12)，同時開啟隔離閥二、隔離閥三、隔離閥四及高真空泵，將被充裝裝置、供氣裝置與供氣管道隔離，對供氣管道抽高真空，當供氣管道內的真空度小于等于設定值1.0E-2 Torr時，對供氣管道加熱并持續抽高真空，加熱到設定溫度，當管道內的真空度降低到小于等于1.0E -6Torr時停止對供氣管道加熱，供氣管道內的溫度達到室溫后對管道內的氣體組份進行檢測，當管道內各氣體組份達到設定值時停止抽真空，由供氣容器向被充裝裝置內充裝氣體。

2.如權利要求1所述的氣體充裝系統，其特征在于，在所述供氣管道上位于隔離閥一和隔離閥五間設置殘余氣體分析儀，所述殘余氣體分析儀的進氣端通過隔離閥與所述供氣管道連接。

3.如權利要求1或2所述的氣體充裝系統，所述的加熱裝置為加熱套，所述加熱套包括保溫層、加熱絲和導熱層，所述加熱絲設置在保溫層和導熱層間，通過高溫無機粘合劑粘合成一體，所述加熱套至少包覆在所述供氣管道外，導熱層為里層，保溫層為外層，由所述加熱絲與所述溫度控制裝置的輸入端電連接。

4.如權利要求1或2所述的氣體充裝系統，所述溫度控制裝置為溫控儀，所述溫度檢測裝置為熱電偶。

5.如權利要求3所述的氣體充裝系統，其特征在于，在所述保溫層外設置PTFE層。

6.如權利要求3所述的氣體充裝系統，其特征在于，所述加熱絲往復盤繞鋪設在所述保溫層上。

7.一種氣體充裝方法，其特征在于，通過EP級的不銹鋼管作為供氣管道，供氣管道連接供氣容器和被充裝裝置，對供氣管道抽真空，當供氣管道內的真空度小于等于1.0E-2Torr時，對供氣管道加熱并持續抽真空，加熱溫度為200-210°C，當管道內的真空度降低到小于等于1.0E-8Torr時停止對供氣管道加熱，供氣管道內的溫度達到室溫后對管道內的氣體組份進行檢測，當管道內各氣體組份達到1PPM時停止抽真空，由供氣容器向被充裝裝置內充裝氣體。

8.如權利要求7所述的氣體充裝方法，其特征在于，對供氣管道抽真空前關閉被充裝裝置與供氣管道間的隔離閥，關閉供氣容器，在由供氣容器向被充裝裝置輸入高純氣體前切斷連接管道與外接設備間的連接，調整供氣容器的輸送氣體的流量，當所述供氣管道內的壓力達到被充裝裝置的充裝壓力時開啟被充裝裝置與供氣管道間的隔離閥進行充氣。

9.如權利要求7所述的氣體充裝方法，其特征在于，在對供氣管道抽真空過程中監測供氣管道內氣體的成份和含量，當供氣管道內氣體含量小于等于1PPM時停止抽真空，在供氣管道小于等于1PPM的真空環境下進行氣體輸送。

10.如權利要求7所述的氣體充裝方法，其特征在于，氣體經過濾后輸送到被充裝裝置內，所述的供氣容器為高純氦氣瓶，所述的被充裝裝置為氦氣壓縮機。