[發明專利]一種太陽能電池片退火爐管清潔方法在審
| 申請號： | 201911346735.9 | 申請日： | 2019-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN111089493A | 公開（公告）日： | 2020-05-01 |
| 發明（設計）人： | 朱波;張廣宗;彭彪;顧峰;胡艷玲 | 申請（專利權）人： | 通威太陽能（安徽）有限公司 |
| 主分類號： | F27D25/00 | 分類號： | F27D25/00;F27D3/15;F27D7/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 安徽知問律師事務所 34134 | 代理人： | 代群群 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 太陽能電池 退火 爐管 清潔 方法 | ||
1.一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，在對退火爐管進行清洗時，先提高退火管內的溫度，并將退火管內抽氣至負壓，將保護氣攜帶的反式1,2-二氯乙烯通入退火爐管中。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，其具體步驟為：
(1)對待清洗的退火爐管進行抽氣，將退火爐管內抽至負壓；并使用加熱裝置對退火爐管進行加熱，使退火爐管內溫度上升；
(2)從退火爐管的一段進口向退火爐管內通入氧氣，并持續時間t1；
(3)通入氧氣持續時間t1后，在保持氧氣通入的過程中，使用保護氣攜帶反式1,2-二氯乙烯，將保護氣攜帶的反式1,2-二氯乙烯通入至退火爐管內，并持續時間T；
(4)通入反式1,2-二氯乙烯持續時間T后，結束反式1,2-二氯乙烯的通入，持續通入氧氣時間t2。
3.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(1)中將退火爐管內抽至負壓至100pa-1000pa。
4.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(1)中通過加熱裝置加熱，將退火爐管內溫度上升至900±100℃。
5.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(2)中氧氣通入持續時間為t1，所述t1為5±3min；步驟(4)中氧氣通入持續時間為t2，所述t2為5±3min。
6.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(3)中所述的保護氣為氮氣。
7.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(3)中通入的由保護氣攜帶反式1,2-二氯乙烯與退火爐管內通入氧氣的體積比為1:(35±5)。
8.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(3)中通入的由保護氣攜帶反式1,2-二氯乙烯持續時間為T，所述T為0.5H-4H。
9.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(2)中氧氣通入的流量為：1000-5000sccm；步驟(4)中氧氣通入的流量為：大于1000sccm。
10.根據權利要求2所述的一種太陽能電池片退火爐管清潔方法，其特征在于，步驟(3)中氧氣通入流量為：300-4000sccm。
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