[發明專利]氨儲存罐容器及利用此的氣態氨供應方法

有效

• 申請號: 201911346434.6
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN112013269B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 安緒峻;姜信永;李相玟
• 申請（專利權）人: 圓益半導體材料有限公司
• 主分類號: F17C13/08
• 分類號: F17C13/08;F17C9/02;F17C13/02
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

本發明涉及氨儲存罐容器及利用此的氣態氨供應方法。本發明公開了一種氨儲存罐容器，包括：儲存罐部，儲存液態氨；支撐架部，設置在儲存罐部外部面，以支撐儲存罐部；熱介質通道部，設置在儲存罐部的外周面，并且形成用于流動熱介質的通道，熱介質用于氣化儲存于儲存罐部內部的液態氨；熱介質儲槽部，儲存向熱介質通道部供應的熱介質；加熱部，用于提高儲存于熱介質儲槽部的熱介質的溫度；循環泵部，用于在熱介質通道部和熱介質儲槽部之間循環熱介質；氣態氨供應線，結合于儲存罐部，以從儲存罐部內向外部設備供應氣化的氣態氨；控制部，控制加熱部及循環泵部的動作，以提前設定的壓力條件及溫度條件通過氣態氨供應線供應氣態氨。

技術領域

本發明涉及氨儲存罐容器及利用此的氣態氨供應方法，更詳細地說涉及利用儲存罐容器搬運液態氨并且能夠以氣體狀態供應的氨儲存罐容器及利用此的氣態氨供應方法。

背景技術

通常，氨正在廣泛使用于熱處理工藝或者冷凍倉庫的制冷劑或者發電廠及焚燒廠等的中和，最近作為半導體或者LED工藝的特殊氣體，其需求正在急劇增加。

在半導體或者LED制造工藝中使用的氨的情況，要求高純度，因此生成氨氣，并且將生成的氨氣供應到設備需要多加注意。

現有的用于供應氨氣的設備主要有使用y-cylinder(Y瓶)的方式。

但是，利用y-cylinder的氨氣供應設備作為簡單的結構，具有可供應高純度的氨氣的優點，但是近來半導體或者LED制造工廠的情況是趨于大規模化，因此用這種氣體供應設備存在無法供應充分量的氨氣的問題。

發明內容

(要解決的問題)

本發明的目的在于，為了解決如上所述的問題，提供一種利用儲存罐容器搬運充分量的液態氨并且能夠以氣體狀態供應的氨儲存罐容器及利用此的氣態氨供應方法。

(解決問題的手段)

本發明是為了達到如上所述的本發明的目的而提出的，公開了一種氨儲存罐容器10，包括：儲存罐部100，儲存液態氨；支撐架部200，設置在所述儲存罐部100外部面，以支撐所述儲存罐部100；熱介質通道部300，設置在所述儲存罐部100的外周面，并且形成用于流動熱介質的通道，所述熱介質用于氣化儲存于所述儲存罐部100內部的液態氨；熱介質儲槽部400，儲存向所述熱介質通道部300供應的熱介質；加熱部800，用于提高儲存于所述熱介質儲槽部400的熱介質的溫度；循環泵部500，用于在所述熱介質通道部300和所述熱介質儲槽部400之間循環熱介質；氣態氨供應線600，結合于所述儲存罐部100，以從所述儲存罐部100內向外部設備供應氣化的氣態氨；控制部，控制所述加熱部800及所述循環泵部500的運轉，以提前設定的壓力條件及溫度條件通過所述氣態氨供應線600供應氣態氨。

所述氨儲存罐容器10還可包括溫度感應部710，所述溫度感應部710設置在所述儲存罐部100，感應氣態氨及液態氨的溫度。

所述氨儲存罐容器10還可包括壓力感應部720，所述壓力感應部720感應所述儲存罐部100內部的壓力。

所述氨儲存罐容器10還可包括液位感應部730，所述液位感應部730感應儲存于所述儲存罐部100內部的液態氨的液位。

所述儲存罐部100可形成圓柱形狀，在以水平方向橫躺的狀態下被所述支撐架部200支撐。

所述熱介質通道部300可與所述儲存罐部100的下部區域相對應設置。

所述熱介質通道部300可包括：熱介質入口部310，設置在所述儲存罐部100的最下部，流進熱介質，分支成一對入口312；一對傳熱管部320，從所述一對入口312以對稱形狀沿著儲存罐部100的外周面兩側延伸；熱介質出口部330，設置在所述一對傳熱管部320的末端排出熱介質。