[發(fā)明專利]用于檢測激光質(zhì)量的裝置及其方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201911346175.7
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN111037126A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜幸;戴楊
• 申請（專利權(quán)）人: 英特爾產(chǎn)品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;B23K26/38;G01J1/00;G01J1/04
• 代理公司: 北京永新同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376
• 代理人: 林錦輝;劉景峰

1.一種用于檢測激光質(zhì)量的裝置，包括：

分束器，所述分束器接收沿第一方向行進(jìn)的聚焦激光束，并將所述聚焦激光束分成第一部分激光束和第二部分激光束；以及

光束分析儀，所述光束分析儀接收所述第二部分激光束，并對所述第二部分激光束進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，

其中，所述第一部分激光束沿所述第一方向行進(jìn)，并且所述第二部分激光束沿與所述第一方向不同的第二方向行進(jìn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，

所述第一部分激光束從所述分束器透射后沿所述第一方向行進(jìn)；并且

所述第二部分激光束被所述分束器偏轉(zhuǎn)90°，所述第二部分激光束所行進(jìn)的所述第二方向與所述第一方向正交，并與晶圓表面平行。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，還包括激光能量吸收器，其中，所述第一部分激光束由所述激光能量吸收器接收，并由所述激光能量吸收器發(fā)射至晶圓表面的激光切割點。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述第一部分激光束的能量大于所述第二部分激光束的能量。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分激光束占所述聚焦激光束的能量的95％-98％，并且所述第二部分激光束占所述聚焦激光束的能量的2％-5％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述裝置被設(shè)置在激光劃片機的聚焦透鏡與晶圓的激光切割點之間，并且所述聚焦透鏡為所述激光劃片機中的光路傳輸末端的聚焦透鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，還包括夾具，其中所述分束器和所述光束分析儀被安裝在所述夾具上，并能夠通過所述夾具進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，并且其中，所述分束器通過所述夾具安裝在所述聚焦透鏡與所述晶圓的激光切割點之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中：

所述夾具包括夾持部和固定部，所述夾持部和固定部通過連接部件附接在一起；

所述夾持部夾持所述分束器和所述光束分析儀，并能夠通過連接部件相對于所述固定部進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，從而調(diào)節(jié)所述分束器和所述光束分析儀的位置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述裝置還包括處理器或與計算設(shè)備通信連接，所述處理器或所述計算設(shè)備對所述光束分析儀采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，以獲得所述聚焦激光束的光斑的輪廓或高斯分布。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中，所述處理器或所述計算設(shè)備將獲得的所述高斯分布與理論高斯分布進(jìn)行擬合，并在擬合值大于或等于預(yù)設(shè)閾值時確定激光質(zhì)量滿足標(biāo)準(zhǔn)，在所述擬合值小于所述預(yù)設(shè)閾值時確定激光質(zhì)量不滿足標(biāo)準(zhǔn)，并向用戶發(fā)出報警信號或提示用戶調(diào)試或更換激光劃片機。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中，所述預(yù)設(shè)閾值的設(shè)定范圍在0.93至0.97之間。

12.一種激光劃片機，包括：激光器、激光傳輸組件、聚焦透鏡、以及根據(jù)權(quán)利要求1-11中的任一項所述的用于檢測激光質(zhì)量的裝置。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的激光劃片機，還包括與所述用于檢測激光質(zhì)量的裝置通信連接的計算設(shè)備。

14.一種用于檢測激光質(zhì)量的方法，包括：

發(fā)射并傳輸激光束；

對所述激光束進(jìn)行聚焦；

接收沿第一方向行進(jìn)的聚焦激光束，并將所述聚焦激光束分成第一部分激光束和第二部分激光束；以及

接收所述第二部分激光束，并對所述第二部分激光束進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，

其中，所述第一部分激光束沿所述第一方向行進(jìn)，并且所述第二部分激光束沿與所述第一方向不同的第二方向行進(jìn)。