[發明專利]使用真空壓力控制閥的預測診斷系統和方法

有效

• 申請號: 201911344981.0
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN111022752B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 大衛·布萊恩·張伯倫;弗拉迪斯拉夫·達維德科維奇;斯科特·本尼迪克特;戈登·希爾
• 申請（專利權）人: MKS儀器公司
• 主分類號: F16K37/00
• 分類號: F16K37/00;F16K51/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王小衡;胡彬

1.一種用于校準真空系統中的被校準閥的方法，所述方法包括：

測量根據閥角度位置的另一具有期望性能的閥的傳導率，以確定傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓；

測量根據閥角度位置的所述被校準閥的傳導率；

通過將根據閥角度位置的所述被校準閥的測量出的傳導率與傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓進行比較，來確定所述被校準閥的傳導率圖或函數；以及

存儲傳導率校準圖或函數以供在所述被校準閥的操作期間使用。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述被校準閥的測量出的傳導率與所述傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓之間的差被用于確定所述傳導率圖或函數。

3.根據權利要求2所述的方法，還包括，在操作期間，接收基于所述被校準閥的期望的傳導率的設定點閥角度位置；并且基于接收到的設定點閥角度位置以及所述被校準閥的測量出的傳導率與所述傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓之間的差，來設置所述被校準閥的實際閥角度位置。

4.根據權利要求3所述的方法，還包括，確定實際系統傳導率并且確定所述系統的實際系統傳導率與參考系統傳導率之間的差。

5.根據權利要求4所述的方法，還包括，生成對所述系統中的故障的診斷指示，所述診斷指示基于所述被校準閥的實際閥角度位置以及所述系統的實際系統傳導率與參考系統傳導率之間的差。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，如果在低傳導率閥中，所述被校準閥的實際閥角度位置低于20度并且所述實際系統傳導率大于所述參考系統傳導率，則所述診斷指示是所述低傳導率閥的擋板密封件被磨損。

7.根據權利要求5所述的方法，其中，如果在非密封閥中，所述被校準閥的實際閥角度位置低于20度并且所述實際系統傳導率小于所述參考系統傳導率，則所述診斷指示是沉積副產物已經被積聚在所述被校準閥的閥壁和擋板中的至少一個上。

8.根據權利要求5所述的方法，其中，如果在低傳導率閥中，所述被校準閥的實際閥角度位置大于50度并且所述實際系統傳導率小于所述參考系統傳導率，則所述診斷指示為所述系統的導管中至少部分堵塞和所述系統中的泵劣化中的至少一個。

9.根據權利要求5所述的方法，其中，如果在非密封閥中，所述被校準閥的實際閥角度位置大于50度并且所述實際系統傳導率小于所述參考系統傳導率，則所述診斷指示是所述系統的導管中至少部分堵塞和所述系統中的泵劣化中的至少一個。

10.一種用于提供使用被校準閥的真空系統中的診斷指示的方法，所述方法包括：

測量根據閥角度位置的另一具有期望性能的閥的傳導率，以確定傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓；

測量根據閥角度位置的所述被校準閥的傳導率；

通過將根據閥角度位置的所述被校準閥的測量出的傳導率與傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓進行比較，來確定所述被校準閥的傳導率圖或函數；

存儲傳導率校準圖或函數以供在所述被校準閥的操作期間使用；

接收基于所述被校準閥的期望的傳導率的設定點閥角度位置；

基于接收到的設定點閥角度位置以及所述被校準閥的測量出的傳導率與傳導率相對于閥角度位置的期望參考輪廓之間的差，來設置所述被校準閥的實際閥角度位置；

確定實際系統傳導率；

確定所述系統的實際系統傳導率與參考系統傳導率之間的差；以及

生成對所述系統中的故障的診斷指示，所述診斷指示基于所述被校準閥的實際閥角度位置以及所述系統的實際系統傳導率與參考系統傳導率之間的差。

11.根據權利要求10所述的方法，其中，如果在低傳導率閥中，所述被校準閥的實際閥角度位置低于20度并且所述實際系統傳導率大于所述參考系統傳導率，則所述診斷指示是所述被校準閥的擋板密封件被磨損。