[發明專利]一種氯硅烷前處理系統及氯硅烷中雜質含量的檢測方法

在審

• 申請號: 201911344586.2
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN111024483A
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 曹巖德;陳英;魏東亮;王海禮;張海燕;田潤朝;安軍林;蔡延國
• 申請（專利權）人: 亞洲硅業(青海)股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術有限公司
• 主分類號: G01N1/44
• 分類號: G01N1/44;G01N1/28
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 陳秋夢

1.一種氯硅烷前處理系統，其特征在于，其包括燃燒部和吸收部，所述燃燒部具有密閉的燃燒室，且燃燒室的出氣口通過管路與吸收部連通，所述燃燒室內設置有用于盛放氯硅烷的取樣器以及用于對所述取樣器內的所述氯硅烷進行加熱燃燒的電加熱裝置。

2.根據權利要求1所述的氯硅烷前處理系統，其特征在于，所述燃燒室的頂端設置有密封蓋，所述電加熱裝置穿過所述密封蓋進入所述燃燒室；

優選的，所述燃燒室還設置有進氣口；

優選的，所述進氣口連接有三通閥。

3.根據權利要求2所述的氯硅烷前處理系統，其特征在于，所述電加熱裝置包括用于固定加熱絲和電源線的電源固定件，所述電源固定件包覆于所述加熱絲和電源線外周，且所述電源線的一端延伸至電源固定件外與外接電源連接，所述加熱絲的位置與所述取樣器的位置相匹配。

4.根據權利要求3所述的氯硅烷前處理系統，其特征在于，所述取樣器包括樣品盛放容器和固定桿，所述固定桿的一端與所述樣品盛放容器固定連接，所述固定桿的另一端與密封蓋的底端固定連接。

5.根據權利要求1所述的氯硅烷前處理系統，其特征在于，所述吸收部包括多個吸收裝置；

優選的，所述吸收部包括第一吸收裝置和第二吸收裝置；所述第一吸收裝置與第二吸收裝置通過管路串聯；所述第一吸收裝置的進氣管與燃燒室內連通；所述第二吸收裝置的排氣管與外界連通；

更優選的，多個所述吸收裝置中含有吸收液；

更優選的，所述吸收液為硝酸。

6.根據權利要求2所述的氯硅烷前處理系統，其特征在于，所述密封蓋與所述燃燒室頂端密封接觸的位置設置有密封圈；

優選的，所述密封圈為O型圈、U型圈或V型圈。

7.根據權利要求6所述的氯硅烷前處理系統，其特征在于，所述密封蓋為橡膠塞。

8.一種氯硅烷中雜質含量的檢測方法，其特征在于，其包括將待檢測樣本置于如權利要求1-7任一項所述的氯硅烷前處理系統中進行密閉燃燒消解，并將所述吸收部中吸收的物質進行檢測。

9.根據權利要求8所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法包括先對所述燃燒室和所述吸收部進行排空處理，再通入氧氣進行待測樣本的燃燒消解；

優選的，進行排空處理所選擇的氣體為惰性氣體；

更優選的，所述排空處理時惰性氣體的通入量為燃燒室體積的2-5倍；

更優選的，所述氧氣的通入流量為1-1.2L/min，通入時間為5-8min。

10.根據權利要求9所述的檢測方法，其特征在于，所述檢測方法還包括待測樣本的燃燒消解至沒有煙霧出現后，再次通入惰性氣體進行排空；

優選的，所述惰性氣體為氮氣。