[發(fā)明專利]異形釕產(chǎn)品的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911344324.6
• 申請日: 2019-12-24
• 公開（公告）號: CN110983265B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王龍;秦寒梅
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南歐泰稀有金屬有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F5/00;B22F3/10;B22F3/04;B22F3/03
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王闖

本發(fā)明提供一種異形釕產(chǎn)品的制備方法。異形釕產(chǎn)品的制備方法，包括：將包括釕粉在內(nèi)的原料壓制成型，然后依次進(jìn)行第一次燒結(jié)和粗加工得到粗工件；將所述粗工件進(jìn)行第二次燒結(jié)，然后進(jìn)行精加工得到所述異形釕產(chǎn)品；所述第一次燒結(jié)的溫度為800?1800℃，所述第二次燒結(jié)的溫度為1600?2300℃。本申請?zhí)峁┑漠愋吾懏a(chǎn)品的制備方法，成材率高、加工效率高，加工時間短、加工精度高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金屬加工領(lǐng)域，尤其涉及一種異形釕產(chǎn)品的制備方法。

背景技術(shù)

釕在鉑族金屬中性質(zhì)比較特殊，其顏色為銀白色，硬而脆，不易機械加工，粉末狀顏色為灰色或深灰色由其粉末顆粒大小決定，熔點為2310℃，沸點為3900℃，密度為12.30g/cm³。其中濺射釕靶是釕的主要用途之一。磁控濺射法是半導(dǎo)體電路元件中制備薄膜的主要技術(shù)之一，釕靶是制造磁記錄及電容元器件過程中磁控濺射成膜工序的關(guān)鍵耗材，其質(zhì)量直接決定著濺射釕膜的質(zhì)量。在釕靶的質(zhì)量方面，有著嚴(yán)格的要求，純度要至少能達(dá)到4N(99.99wt％)以上，相對密度至少不低于95％，且晶粒均勻細(xì)小。

同時根據(jù)濺射機臺的不同需求，釕靶按界面形狀可分為圓形、矩形和異形等。針對異形的濺射釕靶而言，因金屬釕的硬而脆的特性，非常不易加工。釕靶的異形加工一直是業(yè)界的一個難題。無論是用傳統(tǒng)的粉末冶金工藝，還是采用熔鑄工藝，在得到釕塊后，進(jìn)行異形的加工、以匹配專有的設(shè)備機臺，當(dāng)前都沒有很成熟的工藝與方法。在釕產(chǎn)品的異形機械加工過程中，非常容易造成崩邊、開裂等缺陷，導(dǎo)致成材率非常的低。

有鑒于此，特提出本申請。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種異形釕產(chǎn)品的制備方法，以解決上述問題。

為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明特采用以下技術(shù)方案：

一種異形釕產(chǎn)品的制備方法，包括：

將包括釕粉在內(nèi)的原料壓制成型，然后依次進(jìn)行第一次燒結(jié)和粗加工得到粗工件；

將所述粗工件進(jìn)行第二次燒結(jié)，然后進(jìn)行精加工得到所述異形釕產(chǎn)品；

所述第一次燒結(jié)的溫度為800-1800℃，所述第二次燒結(jié)的溫度為1600-2300℃。

第一次燒結(jié)的溫度的選擇，實際上是在工件的加工型和成型性之間選擇一個平衡點(利用的是，壓制成型和一次燒結(jié)之后，硬度的增加幅度，要小于強度的增加，使得形狀能夠保持穩(wěn)定，但加工難度不至于太高)，經(jīng)過第一次燒結(jié)的釕塊，可以高效穩(wěn)定的加工得到異形工件的初步輪廓，有效避免加工尺寸變化較大的情況下發(fā)生破碎、變形等問題。第二次燒結(jié)后的精加工，主要是為了達(dá)到加工精度的要求。

可選地，所述第一次燒結(jié)的溫度可以為800℃、900℃、1000℃、1100℃、1200℃、1300℃、1400℃、1500℃、1600℃、1700℃、1800℃以及800-1800℃之間的任一值，所述第二次燒結(jié)的溫度可以為1600℃、1700℃、1800℃、1900℃、2000℃、2100℃、2200℃、2300℃以及1600-2300℃之間的任一值。

優(yōu)選地，所述第一次燒結(jié)的保溫時間為3-6h，所述第二次燒結(jié)的保溫時間為6-12h。

可選地，所述第一次燒結(jié)的保溫時間可以為3h、4h、5h、6h以及3-6h之間的任一值；所述第二次燒結(jié)的保溫時間可以為6h、7h、8h、9h、10h、11h、12h以及6-12h之間的任一值。

優(yōu)選地，所述釕粉使用前進(jìn)行第一篩分。

更加優(yōu)選地，所述第一篩分使用的篩網(wǎng)的目數(shù)為200-300目。

可選地，所述第一篩分使用的篩網(wǎng)的目數(shù)可以為200目、250目、300目以及200-300目之間的任一值。

優(yōu)選地，所述原料還包括成型劑。