[發明專利]電解拋光的控制系統及其控制方法

有效

• 申請號: 201911339809.6
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN113089070B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發明（設計）人: 郭盛;陳星建;倪圖強
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）股份有限公司
• 主分類號: C25F3/20
• 分類號: C25F3/20;C25D11/16
• 代理公司: 上海元好知識產權代理有限公司 31323
• 代理人: 徐雯瓊;張靜潔

1.一種電解拋光的控制系統，其特征在于，所述電解拋光的控制系統包括：

電解拋光池，其內填充有電解液，需要電解拋光的工件浸設于電解液中；

測量系統，所述測量系統為一電流測量系統或者電壓測量系統，所述測量系統監控并采集電解拋光池內進行電解拋光時各時間段的多個原始電流值或電壓值，并計算多個原始電流值或電壓值的平均值，并將電流值或電壓值的平均值傳輸給斷點控制系統；

斷點控制系統，接收測量系統采集的各時間段的電流值或電壓值的平均值，并對傳入的當前時間段的平均值作為單個數值與之前各時間段接收到的數值進行比對分析，當接收到的各時間段的數值一直處于不斷上升狀態時，表示電解拋光處于活化區間，而向電源系統發出維持通電信號，當接收到的當前時間段的數值與之前時間段的數值均維持在某一數值上下較小幅度波動的狀態時，表示電解拋光處于活化區間后的鈍化區間，而向電源系統發出維持通電信號，當接收到的當前時間段的數值比鈍化區間接收到的數值明顯高出預設的百分比時，表示電解拋光由鈍化區間進入過鈍化區間，而向電源系統發出停止電解拋光的信號；或者對接收到的當前時間段的平均值作為單個數值進行求導分析，當連續某一時間段內的數值求導后的結果均接近于0時，表示電解拋光已經進入穩定拋光的階段，而后延時一段時間將停止電解拋光的信號傳輸給電源系統；

電源系統，用于向電解拋光池內輸入恒定的電壓或電流，并接收斷點控制系統的信號，當接收到斷點控制系統發出的停止電解拋光的信號后，及時切斷電源，停止向電解拋光池內輸入恒定的電壓或電流以結束電解拋光。

2.如權利要求1所述的電解拋光的控制系統，其特征在于：預設的百分比介于5%-30%之間。

3.如權利要求1所述的電解拋光的控制系統，其特征在于：延時的時間段介于15秒至120秒之間。

4.如權利要求1所述的電解拋光的控制系統，其特征在于：所述工件為鋁或者鋁合金。

5.如權利要求1所述的電解拋光的控制系統，其特征在于：所述電解液為硫酸、鉻酸或草酸中的至少一種。

6.如權利要求1所述的電解拋光的控制系統，其特征在于：對電解拋光后的工件進行陽極氧化處理。

7.一種電解拋光的控制方法，其特征在于，所述電解拋光的控制方法包括：

提供一電解拋光池，于其內充入電解液，將需要電解拋光的工件浸設于該電解液中；

提供一測量系統，所述測量系統與電解拋光池電性連接，令測量系統監控并采集電解拋光池內進行電解拋光時各時間段的多個原始電流值或電壓值，并計算多個原始電流值或電壓值的平均值，并將電流值或電壓值的平均值傳輸給斷點控制系統；

提供一斷點控制系統，所述斷點控制系統與測量系統電性連接，令斷點控制系統接收測量系統采集的各時間段的電流值或電壓值的平均值，并對傳入的當前時間段的平均值作為單個數值與之前各時間段接收到的數值進行比對分析，當接收到的各時間段的數值一直處于不斷上升狀態時，表示電解拋光處于活化區間，而向電源系統發出維持通電信號，當接收到的當前時間段的數值與之前時間段的數值均維持在某一數值上下較小幅度波動的狀態時，表示電解拋光處于活化區間后的鈍化區間，而向電源系統發出維持通電信號，當接收到的當前時間段的數值比鈍化區間接收到的數值明顯高出預設的百分比時，表示電解拋光由鈍化區間進入過鈍化區間，而向電源系統發出停止電解拋光的信號，或者對接收到的當前時間段的平均值作為單個數值進行求導分析，當連續某一時間段內的數值求導后的結果均接近于0時，表示電解拋光已經進入穩定拋光的階段，而后延時一段時間將停止電解拋光的信號傳輸給電源系統；

提供一電源系統，所述電源系統與電解拋光池電性連接，以向電解拋光池內輸入恒定的電壓或電流，所述電源系統與斷點控制系統電性連接，以接收斷點控制系統傳入的信號，當接收到斷點控制系統發出的停止電解拋光的信號后，及時切斷電源，停止向電解拋光池內輸入恒定的電壓或電流以結束電解拋光。

8.如權利要求7所述的電解拋光的控制方法，其特征在于：預設的百分比介于5%-30%之間。

9.如權利要求7所述的電解拋光的控制方法，其特征在于：延時的時間段介于15秒至120秒之間。