[發明專利]一種提高鋁摻雜氧化鋅導電玻璃熱穩定性的方法

有效

• 申請號: 201911338638.5
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN110981215B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 張宇鋒;費子琪;黃煌;穆瑞
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34;C23C16/40;C23C16/56
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應森;曾權

1.一種提高鋁摻雜氧化鋅導電玻璃熱穩定性的方法，其特征在于包括以下步驟：

1）將AZO導電玻璃用酒精超聲清洗10min，然后用去離子水清洗1min，接著用丙酮超聲清洗5min，最后用去離子清洗1min，得到表面較干凈的AZO導電玻璃；

2）在總長為10cm的剛玉舟中放入純度99.996%的高純鋅粉和清洗干凈的AZO導電玻璃，把鋅粉放在1cm的位置，AZO導電玻璃放在4cm的位置，使鋅源與襯底之間的距離控制在3cm，并將剛玉舟送入三溫區CVD管式爐中間溫區的中央位置，其中鋅粉位于靠近管式爐的進氣端，AZO導電玻璃靠近管式爐的出氣端，隨之給管式爐抽真空，并通入流量為50sccm的氬氣進行吹掃，重復3次后再次抽真空；

3）當系統內真空度達到8 mbar時，系統按10℃/min速率升溫，令兩側溫區的溫度升到250℃，中間溫區的溫度升到600℃；

4）當兩側溫區達到250℃且中間溫區達到600℃時，向爐管內通入氧氣和氬氣的混氣氣體，氬氣的氣流量始終保持50sccm，氧氣的氣流量為4.0 sccm，通氣反應時間設置為 5min；

5）待步驟4）完成以后，停止通入氣體，系統進行自然降溫，即在AZO導電玻璃上得到均勻連續的氧化鋅層，即ZnO/AZO。