[發明專利]慣性傳感器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201911338555.6
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN111398630B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 伊藤郁哉
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01P15/18
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

本申請涉及慣性傳感器、電子設備以及移動體。慣性傳感器具備：基板；第一檢測元件，設于所述基板的第一面，并具有第一可動部和第一固定部，所述第一可動部能夠相對于所述基板進行位移，所述第一固定部與所述第一可動部連結，并固定于所述基板；以及第二檢測元件，設于與所述第一面為表里關系的第二面，并具有第二可動部和第二固定部，所述第二可動部能夠相對于所述基板進行位移，所述第二固定部與所述第二可動部連結，并固定于所述基板。

技術領域

本發明涉及慣性傳感器、電子設備以及移動體。

背景技術

專利文獻1所記載的加速度傳感器具備：錨固部；可動電極部，通過彈簧部而被錨固部支承為擺動自如；以及固定電極部，與可動電極部相對。在這樣的結構中，若施加加速度，則可動電極部進行擺動，由此，可動電極部與固定電極部的間隙發生變化，它們之間的靜電電容發生變化，因此能夠基于該靜電電容的變化來檢測加速度。

專利文獻1：國際公開第W017/104103號

然而，在專利文獻1所記載的加速度傳感器中，由于是多個傳感器元件形成于一個基板的單面的結構，因此XY平面的接地面積與傳感器元件的個數、面積成比例地增大。也就是說，在專利文獻1所記載的加速度傳感器中，難以實現裝置的小型化。

發明內容

本申請的慣性傳感器其特征在于，具備：基板；第一檢測元件，設于所述基板的第一面，并具有第一可動部和第一固定部，所述第一可動部能夠相對于所述基板進行位移，所述第一固定部與所述第一可動部連結，并固定于所述基板；以及第二檢測元件，設于與所述第一面為表里關系的第二面，并具有第二可動部和第二固定部，所述第二可動部能夠相對于所述基板進行位移，所述第二固定部與所述第二可動部連結，并固定于所述基板。

優選地，上述慣性傳感器還具備：第一蓋體，在所述第一蓋體與所述第一面之間構成有第一空間；以及第二蓋體，在所述第二蓋體與所述第二面之間構成有第二空間，所述第一檢測元件收容于所述第一空間，所述第二檢測元件收容于所述第二空間，在所述第一蓋體上設有用密封材料密封的第一孔，在所述基板上設有連通所述第一空間與所述第二空間的第二孔。

優選地，上述慣性傳感器還具備：多個第一端子，設于所述第一面的所述第一空間的外側；多個第二端子，設于所述第二面且設置于所述第二空間；以及貫通電極，設于所述基板，并電連接所述多個第一端子中任一第一端子與所述多個第二端子中任一第二端子，所述多個第一端子中任意個第一端子與所述第一檢測元件電連接，所述多個第二端子中任意個第二端子與所述第二檢測元件電連接。

在上述慣性傳感器中，優選地，在所述多個第一端子中的一個第一端子與不同于所述一個第一端子的其它第一端子之間設有所述第一蓋體。

優選地，上述慣性傳感器還具備第三檢測元件，所述第三檢測元件設于所述第一面，并具有第三可動部和第三固定部，所述第三可動部能夠相對于所述基板進行位移，所述第三固定部與所述第三可動部連結，并固定于所述基板，當俯視觀察所述基板時，在所述基板為矩形的情況下，所述第一檢測元件與所述第三檢測元件設置在相對于與所述第一面平行且通過所述基板的對角線的交點的線成線對稱的位置。

優選地，上述慣性傳感器還具備第三檢測元件，所述第三檢測元件設于所述第一面，并具有第三可動部和第三固定部，所述第三可動部能夠相對于所述基板進行位移，所述第三固定部與所述第三可動部連結，并固定于所述基板，當俯視觀察所述基板時，在所述基板為矩形的情況下，所述第一檢測元件與所述第三檢測元件設置在相對于所述基板的對角線的交點成點對稱的位置。

在上述慣性傳感器中，優選地，當俯視觀察所述基板時，在所述基板為矩形的情況下，所述第二孔設于與所述基板的對角線的交點重疊的位置。

在上述慣性傳感器中，優選地，在俯視觀察所述基板時，所述第二孔設于不與所述第一檢測元件重疊的位置。