[發(fā)明專利]一種紫外脈沖激光器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911336164.0
• 申請日: 2019-12-23
• 公開（公告）號: CN111146670A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設計）人: 戴殊韜;林文雄;吳鴻春;吳麗霞;翁文;李錦輝;陳恩澤;鄧晶;葛燕;鄭暉;黃見洪
• 申請（專利權）人: 中國科學院福建物質結構研究所
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;H01S3/08;H01S3/091;H01S3/109
• 代理公司: 北京元周律知識產權代理有限公司 11540
• 代理人: 校麗麗

1.一種紫外脈沖激光器，其特征在于，所述激光器包括：泵浦源、以及依次設置在所述泵浦源出射光路上的鈦寶石晶體、光柵組件和第一倍頻晶體；

所述泵浦源發(fā)射的激光經過所述鈦寶石晶體后，得到第一脈沖激光；

所述光柵組件用于壓縮所述第一脈沖激光的線寬，并調諧所述第一脈沖激光的中心波長；

所述第一倍頻晶體用于將所述第一脈沖激光轉化成所述第二脈沖激光；

所述激光器還包括激光單元，所述激光單元用于產生第三脈沖激光；

所述激光器還包括和頻單元，所述和頻單元用于將所述第二脈沖激光和所述第三脈沖激光進行和頻，得到第四脈沖激光。

2.根據(jù)權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述泵浦源為532nm泵浦源；

所述第一脈沖激光為786nm脈沖激光；

所述第二脈沖激光為393nm脈沖激光；

所述第三脈沖激光為532nm脈沖激光；

所述第四脈沖激光為226nm紫外脈沖激光。

3.根據(jù)權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括放大部件；

所述放大部件位于所述光柵組件和所述第一倍頻晶體之間的光路上，用于對所述光柵組件的出射光進行信號放大。

4.根據(jù)權利要求3所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括分束鏡；

所述分束鏡設置在所述泵浦源和所述鈦寶石晶體之間的光路上，用于將所述泵浦源的出射光分為第一激光束和第二激光束；所述鈦寶石晶體用于將所述第一激光束轉化成所述第一脈沖激光后射入所述光柵組件；

所述光柵組件和放大部件之間的光路上還設置有第一全反鏡；所述第一全反鏡用于將所述光柵組件的出射光反射至所述放大部件；

所述激光器還包括第二全反鏡，所述第二全反鏡用于將所述第二激光束反射至所述放大部件；

所述放大部件可利用所述第二激光束對所述第一全反鏡的出射光進行信號放大。

5.根據(jù)權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述鈦寶石晶體的入射光路上設置有第三全反鏡；所述光柵組件的出射光路上設置有輸出鏡；

所述第三全反鏡和所述輸出鏡形成諧振腔。

6.根據(jù)權利要求5所述的激光器，其特征在于，所述光柵組件包括：閃耀光柵和光柵反射鏡；

所述閃耀光柵設置于所述鈦寶石晶體和所述輸出鏡之間，用于壓縮所述第一脈沖激光的線寬；

所述光柵反射鏡垂直于所述閃耀光柵的一級衍射角進行設置，用于調諧所述第一脈沖激光的中心波長。

7.根據(jù)權利要求3所述的激光器，其特征在于，所述放大部件為放大級鈦寶石晶體。

8.根據(jù)權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光單元包括：激光種子源、電光調制器和第二倍頻晶體；

所述激光種子源用于產生1064nm連續(xù)激光；

所述電光調制器和所述第二倍頻晶體依次設置在所述激光種子源的出射光路上；

所述電光調制器用于將所述1064nm連續(xù)激光轉換成1064nm脈沖激光；所述第二倍頻晶體用于將所述1064nm脈沖激光轉換成所述第三脈沖激光。

9.根據(jù)權利要求8所述的激光器，其特征在于，所述激光單元還包括：脈沖激光放大器；

所述脈沖激光放大器設置于所述電光調制器和所述第二倍頻晶體之間的光路上，用于對所述1064nm脈沖激光進行信號放大。

10.根據(jù)權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述激光器還包括：控制單元；

所述控制單元用于控制所述泵浦源和所述電光調制器的工作狀態(tài)，以使所述第二脈沖激光和所述第三脈沖激光時域同步。