[發明專利]一種晶舟盒的開蓋裝置及其開蓋方法有效
| 申請號: | 201911333818.4 | 申請日: | 2019-12-23 |
| 公開(公告)號: | CN111128817B | 公開(公告)日: | 2022-02-22 |
| 發明(設計)人: | 趙永會 | 申請(專利權)人: | 頎中科技(蘇州)有限公司;合肥頎中科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 秦蕾 |
| 地址: | 215000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 晶舟盒 裝置 及其 方法 | ||
1.一種晶舟盒的開蓋裝置,所述晶舟盒包括盒蓋、盒體、用于將所述盒蓋與所述盒體分離的鑰匙;其特征在于,
所述開蓋裝置包括底座、轉盤和用以固定晶舟盒的固定元件,所述轉盤可旋轉地固定設置于所述底座上,所述固定元件安裝至所述轉盤上,并可在所述轉盤的作用下轉動;
所述固定元件的上表面為傾斜面,傾斜面的三個側面設有縱向延伸的擋板,另一側設有定位塊,定位塊位于傾斜面的最高處的一側面;
所述晶舟盒置于所述傾斜面的上方;所述底座與所述轉盤的兩側均設有限位件,限位件為插銷,插銷中活動桿部分位于底座上,插銷孔位于轉盤上,以使得當轉盤的角度調整完畢后,操作插銷,從而鎖定轉盤,使轉盤與底座固定。
2.根據權利要求1所述的晶舟盒的開蓋裝置,其特征在于,所述傾斜面與水平面之間的夾角為銳角。
3.根據權利要求1所述的晶舟盒的開蓋裝置,其特征在于,所述轉盤呈圓形,所述固定元件呈方形,且所述轉盤為所述固定元件的外接圓。
4.一種晶舟盒的開蓋方法,基于如權利要求1至3中任意一項所述的開蓋裝置實現,所述晶舟盒包括盒蓋、盒體、用于將所述盒蓋與所述盒體分離的鑰匙,所述方法用于將晶舟盒的盒蓋與盒體分離,其特征在于,包括以下步驟:
將晶舟盒的一面緊貼固定元件的上表面;
旋轉固定元件,盒蓋正對定位塊及人員操作方向后,鎖定限位件;
用鑰匙打開盒蓋,使盒蓋與盒體分離。
5.根據權利要求4所述的晶舟盒的開蓋方法,其特征在于,所述步驟旋轉固定元件,使盒蓋正對定位塊之前還包括:轉動轉盤,固定元件在轉盤的作用下一同旋轉。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





