[發明專利]一類含有端基酯基有機功能材料的存儲性能有效

申請號：	201911332471.1	申請日：	2019-12-22
公開（公告）號：	CN111129307B	公開（公告）日：	2021-03-30
發明（設計）人：	不公告發明人	申請（專利權）人：	南京和頌材料科技有限公司
主分類號：	H01L51/05	分類號：	H01L51/05;C07F7/18
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地址：	211500 江蘇省南***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一類含有端基酯基有機功能材料存儲性能
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【權利要求書】：

1.一類具有存儲性能的含有端基酯基的有機功能材料，其特征在于：材料的化學結構式為，其中n = 3-16；鍵合基團R = Si(OCH₃)₃, Si(OC₂H₅)₃或者SiCl₃。

2.根據權利要求1所述含有端基酯基的有機功能材料在SiO₂表面形成電荷存儲層的方法，其特征在于：SiO₂/Si襯底依次在丙酮、乙醇、去離子水中超聲，在烘箱里80-120 ℃干燥；用氧等離子體處理10-30 min；將處理好的SiO₂/Si浸泡到含有端基酯基的有機功能材料的無水甲苯溶液里，在60-100 ℃下自組裝48-60 h；從溶液中取出，用甲苯充分沖洗，轉移到烘箱里，在110℃維持10-40 min；所用襯底是n型Si上厚度為300 nm的SiO₂。

3.根據權利要求1所述含有端基酯基的有機功能材料在非易失性有機場效應晶體管存儲器中的應用，其特征在于：將按照權利要求2描述方法制備的帶有電荷存儲層的襯底放入真空蒸鍍室，在高真空下，依次蒸鍍30-80 nm有機半導體材料并五苯pentance、源、漏Au電極各50 nm，晶體管溝道的長和寬分別為60-120 μm與1000-2000 μm，構建結構為SiO₂/Si/電荷存儲層/pentacene/Au的場效應晶體管存儲器。

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