[發明專利]批量工藝氣體凈化系統及相關方法

在審

• 申請號: 201911319002.6
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN111346468A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: M·施洛特貝克;D·P·莫菲
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

1.一種批量工藝氣體凈化器系統，其包括：

凈化器，其包括容器，所述容器具有含有凈化介質的容器內部，

外殼，其圍封所述容器并界定在所述外殼內部且在所述容器外部的空隙，空氣循環通道，其在所述外殼中以允許：

環境氣體在正輸入壓力下流入所述空隙；

所述環境氣體在所述空隙內的非對流循環；及

循環環境氣體在正出口壓力下從所述空隙流動到所述外殼的外部；

所述空氣循環通道包括：

外殼入口，其允許環境氣體在正輸入壓力下從所述外殼的所述外部流動到所述空隙中；

外殼出口，其允許環境氣體在正輸入壓力下從所述空隙流動到所述外殼的外部；及

批量工藝氣體循環系統，其適于致使所述批量工藝氣體流入所述容器內部，通過所述凈化介質并流出所述容器內部。

2.根據權利要求1所述的批量工藝氣體凈化器系統，其中所述外殼入口具有至少7平方英寸的開口面積。

3.根據權利要求1所述的批量工藝氣體凈化器系統，其中所述外殼出口具有至少7平方英寸的開口面積。

4.根據權利要求1所述的批量工藝氣體凈化器系統，其中所述外殼入口適于接納入口管道系統的附接。

5.根據權利要求1所述的批量工藝氣體凈化器系統，其中所述外殼出口適于接納出口管道系統的附接。

6.根據權利要求1所述的批量工藝氣體凈化器系統，其進一步包括循環風扇，所述循環風扇包括位于所述空隙內的葉輪以使氣態流體在所述空隙內循環。

7.根據權利要求1所述的批量工藝氣體凈化器系統，其進一步包括：

第二凈化器，其包括第二容器，所述第二容器具有含有第二凈化介質的第二容器內部，

第二外殼，其圍封所述第二容器并界定在所述第二外殼內部且在所述第二容器外部的第二空隙，

第二空氣循環通道，其在所述第二外殼中以允許：

環境氣體在第二正輸入壓力下流入所述第二空隙；

所述環境氣體在所述第二空隙內的非對流循環；及

循環環境氣體在第二負出口壓力下從所述第二空隙流動到所述第二外殼的外部；

所述第二空氣循環通道包括：

第二外殼入口，其允許環境氣體在第二正輸入壓力下從所述第二外殼的所述外部第二流動到所述第二空隙中；

第二外殼出口，其允許環境氣體在第二正輸入壓力下從所述第二空隙流動到所述第二外殼的外部；及

第二批量工藝氣體循環系統，其適于致使所述批量工藝氣體流入所述第二容器內部，通過所述第二凈化介質并流出所述第二容器內部。