[發(fā)明專利]帶溫補層和電學層的體聲波諧振器、濾波器及電子設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911317366.0
• 申請日: 2019-12-19
• 公開（公告）號: CN111010130B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設計）人: 張孟倫;龐慰;楊清瑞
• 申請（專利權）人: 諾思（天津）微系統(tǒng)有限責任公司
• 主分類號: H03H9/15
• 分類號: H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13
• 代理公司: 北京金誠同達律師事務所 11651
• 代理人: 湯雄軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基底；

聲學鏡；

底電極；

頂電極；

壓電層，設置在底電極與頂電極之間，

其中：

頂電極、壓電層、底電極和聲學鏡在諧振器的厚度方向上的重疊區(qū)域構成諧振器的有效區(qū)域；

頂電極和/或底電極為溫補層電極，所述溫補層電極包括電極材料層、至少一層溫補層和至少一層電學層，溫補層與電學層在諧振器的厚度方向上疊置，且在溫補層電極的厚度方向上，在所述溫補層電極中溫補層中的一層比所有電學層更靠近壓電層，所述電學層與所述電極材料層形成電連接，所述電學層的電阻率不同于所述電極材料層的電阻率，所有溫補層在諧振器的厚度方向上與壓電層間隔開。

2.根據(jù)權利要求1所述的諧振器，其中：

所述電學層的電阻率小于所述電極材料層的電阻率。

3.根據(jù)權利要求2所述的諧振器，其中：

所述電學層的電阻率不大于3.5x10^-8Ohm·m。

4.根據(jù)權利要求1所述的諧振器，其中：

所述電學層的材料包括鋁、銅、金或銀，或上述金屬的合金。

5.根據(jù)權利要求4所述的諧振器，其中：

所述電極材料層的材料為鉬、釕、鈦、鎢、鉑、銥或鋨，或上述金屬的合金。

6.根據(jù)權利要求1所述的諧振器，其中：

所述電學層與所述溫補層的聲阻抗小于所述電極材料層的聲阻抗。

7.根據(jù)權利要求6所述的諧振器，其中：

所述電極材料層的聲阻抗大于30兆瑞利。

8.根據(jù)權利要求7所述的諧振器，其中：

所述電極材料層的聲阻抗大于50兆瑞利。

9.根據(jù)權利要求1-8中任一項所述的諧振器，其中：

彼此相鄰層疊的溫補層與電學層在諧振器的厚度方向上以一層直接覆蓋另一層的方式疊置。

10.根據(jù)權利要求1-8中任一項所述的諧振器，其中：

彼此相鄰層疊的溫補層與電學層在諧振器的厚度方向上由彼此間隔開。

11.根據(jù)權利要求10所述的諧振器，其中：

在諧振器的厚度方向上彼此相鄰層疊的溫補層與電學層之間為電極材料。

12.根據(jù)權利要求11所述的諧振器，其中：

在諧振器的厚度方向上彼此相鄰層疊且靠近壓電層的溫補層與電學層之間的電極材料的厚度大于所述溫補層與壓電層之間的電極材料的厚度。

13.根據(jù)權利要求1-8中任一項所述的諧振器，其中：

底電極為溫補層電極，一個電學層的底側構成所述底電極的底側。

14.根據(jù)權利要求13所述的諧振器，其中：

所述聲學鏡為聲學鏡空腔，所述諧振器還包括刻蝕保護層，所述保護層設置在所述一個電學層的底側與基底的上側之間且覆蓋所述空腔；或

所述聲學鏡為聲學鏡空腔，所述一個電學層的底側直接覆蓋基底的上表面和所述空腔。

15.根據(jù)權利要求1-8中任一項所述的諧振器，其中：

所述溫補層電極包括一組或多組溫補-電學層，每一組溫補-電學層包括以在遠離壓電層的方向上的順序布置的一個溫補層和一個電學層；或

所述溫補層電極包括一組或多組溫補-電學層，每一組溫補-電學層包括以在遠離壓電層的方向上的順序布置的一個第一溫補層、一個電學層和一個第二溫補層。