[發(fā)明專(zhuān)利]感光性樹(shù)脂組合物、感光性干膜和圖案形成方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911315425.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111338181A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 平野禎典;菅生道博;淺井聰;五井孝浩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/004
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/004;G03F7/075
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 劉強(qiáng)

本發(fā)明提供感光性樹(shù)脂組合物、感光性干膜和圖案形成方法。包含以下的感光性樹(shù)脂組合物具有改進(jìn)的膜性質(zhì)：含有硅亞苯基骨架和芴骨架并且在分子內(nèi)具有可交聯(lián)位點(diǎn)的聚合物，Mw為300?10,000的酚化合物，光致產(chǎn)酸劑，和苯并三唑或咪唑化合物。即使由厚膜，也可形成細(xì)微尺寸圖案。

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本非臨時(shí)申請(qǐng)按照35U.S.C.§119(a)要求2018年12月19日于日本提交的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?018-237135的優(yōu)先權(quán)，其全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及感光性樹(shù)脂組合物、感光性干膜和圖案形成方法。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，由感光性聚酰亞胺組合物、感光性環(huán)氧樹(shù)脂組合物、感光性有機(jī)硅組合物等形成用于半導(dǎo)體芯片的感光性保護(hù)膜和用于多層印刷電路板的感光性絕緣膜。作為用于保護(hù)這樣的基板和電路的感光性材料，專(zhuān)利文獻(xiàn)1公開(kāi)了以含有硅亞苯基結(jié)構(gòu)的有機(jī)硅類(lèi)型聚合物為基礎(chǔ)的感光性有機(jī)硅組合物，其具有改進(jìn)的柔韌性。這種組合物具有改進(jìn)的膜性質(zhì)但是分辨率低。在可在高度集成的3D封裝中使用該組合物之前，必須實(shí)現(xiàn)分辨率的進(jìn)一步改進(jìn)。

引用列表

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：JP-A 2008-184571(USP 7,785,766,EP 1953183)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供感光性樹(shù)脂組合物，其形成具有改進(jìn)的膜性質(zhì)并且甚至采用厚膜形式還可易于加工以形成細(xì)微尺寸圖案的樹(shù)脂涂層或膜。另一個(gè)目的是提供使用該組合物的感光性干膜和圖案形成方法。

發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了包含以下組分的感光性樹(shù)脂組合物具有高分辨率并且適合作為用于鍍覆的抗蝕劑材料：含有硅亞苯基和芴骨架并且在分子中具有交聯(lián)基團(tuán)或能夠進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的反應(yīng)性位點(diǎn)的聚合物，Mw為300至10,000的酚化合物，光致產(chǎn)酸劑，和苯并三唑化合物和/或咪唑化合物。

在一方面，本發(fā)明提供包含以下組分的感光性樹(shù)脂組合物：

(A)包含具有以下所示的式(A1)的重復(fù)單元和選自具有以下所示的式(A2)的重復(fù)單元和具有以下所示的式(A3)的重復(fù)單元中至少一種類(lèi)型的重復(fù)單元的聚合物，

(B)重均分子量為300至10,000的酚化合物，

(C)光致產(chǎn)酸劑，

(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物，和

(E)有機(jī)溶劑。

其中X¹和X²各自獨(dú)立地為氫或縮水甘油基團(tuán)，Y¹是C₁-C₅直鏈或支化烷二基基團(tuán)，Z¹是可含有羥基的C₁-C₁₀直鏈烷二基基團(tuán)、C₂-C₁₀支化烷二基基團(tuán)或具有式(A4)的二價(jià)基團(tuán)：