[發明專利]掩膜板組件及一種蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201911308846.0
• 申請日: 2019-12-18
• 公開（公告）號: CN111020478B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 鄧江濤;丁渭渭;徐鵬;趙鈺;王玉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種掩膜板組件，其特征在于，包括金屬框架和設置于所述金屬框架上的掩膜條，所述掩膜條包括開設有多個蒸鍍孔的蒸鍍區和位于所述蒸鍍區四周的四個邊緣區，至少一個所述邊緣區上開設有多個通孔；

至少一個所述邊緣區沿第一方向由外向內設置有第一子區域和第二子區域，所述第一子區域與所述金屬框架連接，所述第二子區域設置有所述多個通孔，其中，所述第一方向為與相應的所述邊緣區的延伸方向相垂直的方向；

還包括用于遮擋所述通孔的遮擋條，所述遮擋條設置于所述掩膜條面向所述金屬框架的一側，且所述遮擋條的兩端固定于所述金屬框架相對的兩個邊框上。

2.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，至少一個所述邊緣區上沿其延伸方向均勻設置有多個所述通孔。

3.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，所述通孔在平行于所述掩膜條的方向上的截面為第一矩形，所述蒸鍍孔在平行于所述掩膜條的方向上的截面為第二矩形，所述第一矩形在第一方向上的長度與所述第二矩形在第二方向上的長度相同，所述第二方向為相應的所述邊緣區的延伸方向。

4.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，一個所述邊緣區上的所述通孔的數量與在第二方向上排布的一列所述蒸鍍孔的數量相同，所述第二方向為相應的所述邊緣區的延伸方向。

5.根據權利要求1所述的掩膜板組件，其特征在于，每個所述邊框的內側邊緣處開設有凹槽，所述遮擋條的兩端固定于所述凹槽內，所述遮擋條與所述掩膜條接觸的一面和所述邊框與所述掩膜條連接的一面位于同一平面。

6.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括權利要求1-5任一項所述的掩膜板組件。