[發明專利]膜層預處理方法、裝置以及噴墨打印成膜方法

有效

• 申請號: 201911302068.4
• 申請日: 2019-12-17
• 公開（公告）號: CN111137041B
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 胡兵;彭軍軍
• 申請（專利權）人: 納晶科技股份有限公司
• 主分類號: B41J11/00
• 分類號: B41J11/00;B41J3/407;B41J2/01;H01L51/56;H01L51/00;B41M7/00;B41M5/00
• 代理公司: 寧波聚禾專利代理事務所(普通合伙) 33336
• 代理人: 糜婧;顧賽喜

本發明公開了一種膜層預處理方法以及裝置。該膜層預處理方法包括以下步驟：S1，將表面打印有墨水的成膜基板置于一腔室內；S2，向腔室內可控地通入第一蒸氣，第一蒸氣包括第一溶劑的蒸氣，第一溶劑為所述墨水中溶質的良溶劑；S3，當腔室內的氣壓達到預設壓力值后，向成膜基板的表面往復地吹掃對墨水為化學惰性的第二氣體。本發明提供的膜層預處理方法可以有效地撫平打印在成膜基板上的墨水，從而獲得表面平整、厚度均勻的膜層。

技術領域

本發明涉及噴墨打印成膜技術領域，尤其涉及膜層預處理方法以及裝置。

背景技術

目前，采用噴墨打印技術制作電致發光顯示器已經是一種趨勢。與傳統的蒸鍍工藝相比，噴墨打印技術具有材料利用率高、成本低等優點。采用噴墨打印技術制備發光器件的各功能層時，是將墨水打印到預先形成的像素坑中，然后通過干燥工藝對膜層進行干燥處理，以去除膜層中的溶劑。

在生產過程中，因為墨滴較小，需要在同一個像素坑內多打印幾滴墨水，使整個像素坑被鋪滿。但是，打印在像素坑內的多滴墨水很難實現完全融合，從而無法獲得平緩的表面，最終會導致干燥后膜層表面不均勻。其原因主要是墨水液滴中通常包括多種溶劑，其中一些低沸點的溶劑揮發較快，這導致先打印的墨水液滴與后打印的墨水液滴中的溶劑含量或組分會有差異，進而使得先后打印的墨水液滴不能充分融合。此外，受到像素界定層的影響，不同的像素形狀、不同材料的像素堤壩膠、像素坑的深度等都會影響墨水液滴在像素坑內的融合動作，例如墨水液滴可能會吸附在像素坑的斜面上，干燥后造成邊角堆積，影響膜層的均勻性，進而影響發光器件的發光均勻性等性能。

現有技術中，一般采用超聲處理法對噴墨打印后的基板進行處理，但是由于某些溶劑揮發較快，薄膜干燥較迅速，因此超聲處理的效果并不明顯。此外，超聲處理時間較長，不適合規?；a。

發明內容

本發明的一個目的在于提供一種膜層預處理方法以及裝置，解決現有技術中噴墨打印后墨滴表面不平緩、不均勻的問題。

根據本發明的一個方面，提供一種膜層預處理方法，包括以下步驟：

S1，將表面打印有墨水的成膜基板置于一腔室內；

S2，向所述腔室內可控地通入第一蒸氣，所述第一蒸氣包括第一溶劑的蒸氣，所述第一溶劑為所述墨水中溶質的良溶劑；

S3，當所述腔室內的氣壓達到預設壓力值后，向所述成膜基板的表面往復地吹掃對所述墨水為化學惰性的第二氣體。

在其中一些實施例中，所述第二氣體選自空氣、氮氣、惰性氣體中的一種或多種；或者所述第二氣體為第二溶劑的蒸氣，所述第二溶劑為所述墨水中溶質的良溶劑，所述第二溶劑與所述第一溶劑相同或不同。

在其中一些實施例中，所述步驟S3中所述的預設壓力值小于等于所述第一蒸氣的飽和蒸氣壓。

在其中一些實施例中，所述第二氣體的溫度大于所述腔室內的溫度。

在其中一些實施例中，所述步驟S2之后，循環進行以下步驟：S0，抽出所述腔室內的第三氣體，并將所述第三氣體可控地通入所述腔室內，以調控所述腔室內的氣體壓力以及溫度。

在其中一些實施例中，所述步驟S0中，所述第三氣體與所述第一蒸氣混合后可控地通入所述腔室內。

在其中一些實施例中，所述步驟S3中，所述第二氣體在所述成膜基板表面的流速大于所述腔室內的循環氣體的流速。

根據本發明的另一個方面，提供一種噴墨打印成膜方法，包括以下步驟：

A1，向成膜基板的容納腔內打印墨水；

A2，對所述成膜基板進行預處理，所述預處理的方法如前述的膜層預處理方法；

A3，停止向所述腔室內通入氣體，并在所述腔室內干燥所述成膜基板上的所述墨水。