[發明專利]風刀結構及其機構

在審

• 申請號: 201911297218.7
• 申請日: 2019-12-17
• 公開（公告）號: CN112985043A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 詹森雄
• 申請（專利權）人: 亞智科技股份有限公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00;B01D46/00
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 趙夢雯;艾晶

一種風刀結構及其機構，其中該風刀結構更包含一風刀主體，該風刀主體具有一第一本體與一第二本體，在該第一本體與該第二本體的下端設有一傾斜的前刀口，所述的第一氣流通道具有一進氣連接管，此外，提供一種風刀機構，主要透過進氣連接管連接于該空氣過濾裝置，該空氣過濾裝置提供過濾后的空氣到該風刀主體，利用前刀口將壓縮空氣對一基板加以清潔、干燥；由于該風刀主體與基板為垂直配置，因此該風刀主體與基板間的距離更短，可供外接的空氣來源設備在低耗能的模式下即可對基板加以吹干或干燥，達到節能的主要功效。

技術領域

本發明關于一種對基板表面的吹干或干燥的機構，特別是指一種風刀結構及其機構，其具有節能及增進吹氣效率的結構。

背景技術

對于大面積的基板的干燥清潔裝置大多使用風刀結構，利用干燥空氣吹拂基板表面，將基板上的殘留溶劑及水分去除。

目前業界使用的風刀結構如圖1所示，風刀500與懸吊統(圖未示)乃以37度角的傾斜角度θ1配置，但是這樣的配置會造成風刀出口501與基板A之間的距離受限，且吹氣效率較差；且風刀500的配置更造成主體無法與基板A拉近距離，若強迫拉近風刀500后出口碰撞基板A，但是風刀500與基板A間距過大則會必須增加風力，但是這樣卻造成廠務耗能的問題，若沒不增加風力那么基板表面就可能殘留溶劑及水分。

此外，習用的風刀500采用調整主體的位置，一般來說主體在長時間使用下受到重力而有逐漸下垂的問題，且又因傾斜風刀500的配置，造成裝機前測試階段較為復雜繁瑣，測試耗時，造成人力成本提高。

如何改善習用結構的缺失，乃相關業者積極克服的問題。

發明內容

本發明的目的即在于改善上述的缺點，風刀結構以垂直的設置，使風刀主體與基板之間可拉近距離，氣流通過狹窄狹縫后，刀口方向就形成一道氣流，有效節省廠務供給的效能及成本，并提升吹干的效率。

本發明的次要目的在于當風刀本體與基板間距縮短后，可有效節省裝機前的工序步驟，借此縮短時間，達到節省時間與成本的效益。

可達到上述目的的結構，主要在于提供一種風刀結構，該風刀結構主要包含有：一風刀主體，該風刀主體由一第一本體與一第二本體所構成，該第一本體設有至少一第一氣流通道，該第二本體更設有一與該第一氣流通道相連接的進氣連接管，該第一本體與該第二本體的下端的具有一傾斜狀的前刀口，該前刀口與該第一本體形成一風刀夾角，該風刀夾角介于30度至50度之間。

在本發明實施例中，更包含有一第三本體，所述的第二本體連接在該第一本體前端，并形成該前刀口，該第三本體連接在該第一本體的后端，且該第三本體與該第一本體之間設有一第二氣流通道，該第三本體與該第一本體的下端具有一沿著后刀口設置。

在本發明的實施例中，該風刀主體進一步更包含有一第三本體，該第二本體連接在該第一本體前端，并形成該前刀口，該第三本體連接在該第一本體的后端，且該第三本體與該第一本體之間設有一第二氣流通道，

在本發明的實施例中，其中，該第三本體下端更設置有一后刀口。

在本發明的實施例中，該風刀主體垂直于一基板方向設置。

在本發明的實施例中，該前刀口與該第一本體的風刀夾角為40度配置。

在本發明的實施例中，該風刀主體上端更設有一懸吊裝置，該懸吊裝置具有U型的連接區。

在本發明的實施例中，該風刀主體上端更設有一懸吊裝置，該懸吊裝置具有H型的連接區。

在本發明的實施例中，該懸吊裝置可為矩形。

在前述的實施例中，該懸吊裝置選用鈑金件或者鋼材所構成。

在本發明的實施例中，該風刀主體與一基板的距離介于1厘米至3厘米之間。