[發(fā)明專(zhuān)利]導(dǎo)電性薄膜及導(dǎo)電性薄膜的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911296437.3
• 申請(qǐng)日: 2019-12-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111326279B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梶原大輔;齊藤武士
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日東電工株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01B5/14
• 分類(lèi)號(hào): H01B5/14;H01B13/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種導(dǎo)電性薄膜，其依次具備第1導(dǎo)電層、樹(shù)脂薄膜、和第2導(dǎo)電層，

第1導(dǎo)電層及第2導(dǎo)電層包含Cu，

沿與所述樹(shù)脂薄膜的長(zhǎng)度方向垂直的方向測(cè)定的所述樹(shù)脂薄膜的20℃～140℃下的熱膨脹系數(shù)的最大值與最小值之差為25ppm/K以下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性薄膜，其中，所述第1導(dǎo)電層及所述第2導(dǎo)電層的厚度各自獨(dú)立地為10nm以上且300nm以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的導(dǎo)電性薄膜，其中，所述第1導(dǎo)電層及所述第2導(dǎo)電層均為濺射膜。

4.一種導(dǎo)電性薄膜的制造方法，其包括：

準(zhǔn)備樹(shù)脂薄膜的工序、及

通過(guò)濺射法在所述樹(shù)脂薄膜的兩面依次形成導(dǎo)電層的工序，所述導(dǎo)電層包含Cu，

沿與所述樹(shù)脂薄膜的長(zhǎng)度方向垂直的方向測(cè)定的所述樹(shù)脂薄膜的20℃～140℃下的熱膨脹系數(shù)的最大值與最小值之差為25ppm/K以下。